當前位置:HORIBA科學(xué)儀器事業(yè)部>>橢圓偏振光譜儀>> UVISEL PlusUVISEL Plus研究級經(jīng)典型橢偏儀
儀器簡介:
橢圓偏振光譜是一種無損無接觸的光學(xué)測量技術(shù),基于測量線偏振光經(jīng)過薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變,通過模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學(xué)性質(zhì)等等,可測厚度范圍為幾埃至幾十微米。此外,還可以測試材料的反射率及透過率。
技術(shù)參數(shù):
* 光譜范圍: 190-885 nm(可擴展至2100nm)
* 微光斑可選50µm-100µm-1mm
* 探測器:分別針對紫外,可見和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測器
* 自動樣品臺尺寸:多種樣品臺可選
* 自動量角器:變角范圍40° - 90°,全自動調(diào)整,小步長0.01°
主要特點:
* 50KHz 高頻PEM 相調(diào)制技術(shù),測量光路中無運動部件
* 具備超薄膜所需的測量精度,超厚膜所需的高光譜分辨率
* 具有毫秒級超快動態(tài)采集模式,可用于在線實時監(jiān)測
* 自動平臺樣品掃描成像、變溫臺、電化學(xué)反應(yīng)池、液體池、密封池等多種附件
* 配置靈活