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供貨周期	現(xiàn)貨	應用領(lǐng)域	電子

使用范圍：

S48 300/HMT 質(zhì)量流量計廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等行業(yè)的氣流測量與控制。

質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計

質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC)，具備流量測量和流量控制兩種功能。

質(zhì)量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)，只有流量測量功能，不具備氣流控制功能。

S48 300/HMT 質(zhì)量流量計的特點

☆ 在引進HORIBA STEC技術(shù)基礎(chǔ)上，結(jié)合國內(nèi)需要而研制的一種數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品，采用當今*的32位ARM系列處理器做數(shù)字控制。具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應速度快、過沖小等特點。

☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）開放協(xié)議。協(xié)議簡單可靠，兼容性強，易于組網(wǎng)。配合上位機，可進行各種復雜的計量、控制操作及組態(tài)。

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。

☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強。

☆可任意角度安裝。

☆兼容數(shù)字和模擬控制及顯示，使用方便。易于與電氣或自動控制系統(tǒng)配合。配合MT-50或51系列流量顯示儀，可對氣流的瞬時流量進行精確測量和計量。

S48 300/HMT數(shù)字流量控制器技術(shù)指標

編號	項目	S48 300/HMT
1	流量規(guī)格	(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
2	調(diào)節(jié)閥類型	電磁調(diào)節(jié)閥
3	調(diào)節(jié)閥靜止狀態(tài)	常閉
4	安裝角度	任意
5	流量控制范圍	2%-100%F.S.
6	流量測量范圍	0-100%F.S.
7	響應時間	≤ 1 sec
8	工作環(huán)境溫度	5-50℃
9	精度保證溫度	15-35℃
10	精度	±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.)
11	線性精度	±0.5%F.S.
12	重復性	±0.2%F.S.
13	工作壓差	-5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D)
14	耐壓	3MPa(G)
15	泄漏率	＜1×10-8Pa·m3/s(He)
16	接觸氣體材料	316L，Viton? 氟橡膠，PTFE
17	管路接頭	Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″
18	供電電源	±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA
19	設(shè)定信號	數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，輸入阻抗＞10kΩ
20	流量輸出信號	數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，負載能力≤3mA
21	通訊接口	數(shù)字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 協(xié)議從機，設(shè)備號可選范圍0-15
22	重量(kg)	0.9

訂貨規(guī)范

在訂貨時應指明是質(zhì)量流量控制器還是質(zhì)量流量計，指明S48 300/HMT產(chǎn)品型號，流量規(guī)格，使用氣體種類，管接頭種類。

例如：MFC(或MFM)-S48 300/HMT(產(chǎn)品型號)500mL/min(流量規(guī)格) N2(氣體種類) Φ6(管路接頭)

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