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錦正茂科技10nm級(jí)4K液氦極低溫系統(tǒng)
- 公司名稱(chēng)：
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- 發(fā)布日期：
- 所 在 地：
- 生產(chǎn)地址：
- 已獲點(diǎn)擊：
- 北京錦正茂科技有限公司
- 256000 （具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)）
- 2024-10-11 15:42:43
- 北京市
- 190
【詳細(xì)說(shuō)明】
一、概述：
系統(tǒng)組成：
該系統(tǒng)由氦制冷機(jī)、氦壓縮機(jī)、水冷機(jī)、真空泵組、溫度傳感器、控溫儀、真空腔體、KF25真空抽口、以及制冷機(jī)支架、樣品臺(tái)、樣品卡等附件共同構(gòu)成。錦正茂科技10nm級(jí)4K液氦極低溫系統(tǒng)
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.制冷量：一級(jí)制冷7W@45K，二級(jí)制冷1.0W@4K，所需電為380V，50Hz。
2.工作壓力：<2×10-4Pa；正常生產(chǎn)時(shí)，會(huì)經(jīng)過(guò)氦氣質(zhì)譜檢漏儀撿漏，真空度可以達(dá)到10-4Pa，（可選10-6Pa）依據(jù)泵的極限真空而定。
3.溫度監(jiān)控：樣品臺(tái)處設(shè)置一處溫度測(cè)量點(diǎn)，監(jiān)控并顯示樣品處的溫度。測(cè)溫精度±0.01K。
4.樣品降溫和升溫時(shí)間：制冷至4K的時(shí)間小于2.2h（腔室加大后會(huì)延長(zhǎng)制冷時(shí)間），制冷關(guān)機(jī)后在真空下恢復(fù)到常溫的時(shí)間小于3h，該裝置采用無(wú)液氦閉循環(huán)制冷機(jī)制冷，制冷量為4K@1.0W，無(wú)負(fù)載是降溫到70K所需時(shí)間為60min，當(dāng)安裝上負(fù)載后，考慮到負(fù)載以及相關(guān)支撐裝置的冷卻，制冷時(shí)間會(huì)相應(yīng)的加長(zhǎng)，但是依據(jù)經(jīng)驗(yàn)，該降溫時(shí)間大約在1.2h，滿(mǎn)足實(shí)驗(yàn)要求。
5.集成控制系統(tǒng)：控制真空系統(tǒng)、制冷機(jī)的運(yùn)行及安全反饋功能?？稍O(shè)置和顯示工作目標(biāo)參數(shù)和系統(tǒng)工作狀態(tài)，具備反饋安全控制功能。錦正茂科技10nm級(jí)4K液氦極低溫系統(tǒng)
技術(shù)指標(biāo)：
震動(dòng)量：＜10nm
變溫范圍：4.5K-325K （零下269.15℃-零上51℃）
測(cè)溫精度：0.01℃
真 空 度：10-4pa
光學(xué)窗口：2只（可定制）
窗口材料：熔融石英
輸出電極：8根
二、操作流程
1：將按照所需要做的實(shí)驗(yàn)進(jìn)行安裝相應(yīng)的卡具。安裝完成后按照?qǐng)D紙將系統(tǒng)組件完畢。
2：使用分子泵組將分子泵組的分子泵抽氣端口和真空腔體的KF25的真空抽氣口用焊接波紋管連接在一起，打開(kāi)波紋管上的高真空擋板閥，開(kāi)啟分子泵組，將系統(tǒng)內(nèi)的真空度降至低于2X10-4Pa，關(guān)閉擋板閥移除波紋管（若實(shí)驗(yàn)時(shí)不礙事可以不進(jìn)行拆除）；
3：連接控溫儀，開(kāi)啟壓縮機(jī)，對(duì)系統(tǒng)內(nèi)的進(jìn)行降溫，降溫至4K以下。在控溫儀上顯示附近的溫度，以及冷頭處的溫度。
4：測(cè)試完成后，關(guān)閉壓縮機(jī)，等待系統(tǒng)自動(dòng)升溫。
熱仿真分析
在降溫至4K時(shí)，制冷機(jī)的功率為1.2W，此時(shí)對(duì)整個(gè)所處環(huán)境進(jìn)行熱仿真分析，具體分析結(jié)果如下圖。
根據(jù)熱仿真結(jié)果可知，在4.2K時(shí)，溫度均勻一致。
更多指標(biāo)：詳詢(xún)錦正茂科技
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