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技術(shù)文章
探針臺怎樣工作
點擊次數(shù)：123 發(fā)布時間：2024-10-25
探針臺將晶圓或芯片固定在安裝在平臺上的卡盤上，該平臺允許將 DUT 定位在顯微鏡視野的中心。
機械手放置在平臺的平面上，并在機械手中插入探針臂和jian端。探頭jian端必須適合要執(zhí)行的測試程序。然后，用戶通過調(diào)整相應(yīng)的操縱器將探針jian端精確定位在設(shè)備內(nèi)的正確位置。然后通過降低壓板使探針與晶片接觸；現(xiàn)在可以測試該設(shè)備。對于具有多個器件的晶圓，在測試第一個器件后，可以升起壓板并將支撐晶圓的平臺移動到下一個器件。重復(fù)定位探針jian端的過程，直到測試完所有必需的設(shè)備。這個過程都可以由操作員手動完成，但如果載物臺和機械手是電動的，并且顯微鏡連接到計算機視覺系統(tǒng)，那么這個過程可以變成半自動或全自動。這可以提高探針臺的生產(chǎn)力和吞吐量，并減少運行多個測試所需的勞動力。
