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怎樣選擇合適的探針臺(tái)
點(diǎn)擊次數(shù)：188 發(fā)布時(shí)間：2024-10-14
隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展，越來(lái)越多的精密細(xì)小器件逐步開(kāi)放和增長(zhǎng)，作為對(duì)細(xì)小器件檢測(cè)的bi備儀器—探針臺(tái)也顯得越來(lái)越重要。探針臺(tái)可以將待測(cè)器件進(jìn)行放大幾十到上千倍，可將微觀層面的東西搬到宏觀上來(lái)進(jìn)行研究，連接測(cè)試儀器儀表進(jìn)行測(cè)量。那么如何選擇一款適合的探針臺(tái)顯得尤為重要。
第一，我們需要選擇合適尺寸的樣品座，會(huì)有2英寸、4英寸、6英寸、8英寸和12英寸之分，如果我們測(cè)試的樣品是大的晶圓或器件，我們還需要注意的是，探針是否能滿足扎到樣品的任意位置。
第二，我們選用探針臂的數(shù)量和類型，可以最多同時(shí)搭載6個(gè)探針臂，探針臂的類型有直流臂、射頻臂和微波臂，會(huì)配備相應(yīng)的探針。
第三，因?yàn)椴煌臏y(cè)試，我們需要對(duì)應(yīng)的測(cè)試環(huán)境，我們可以選擇是否帶有磁場(chǎng)，磁場(chǎng)是固定的還是變磁場(chǎng)，對(duì)應(yīng)的就要配備永磁鐵和電磁鐵。
第四，我們的測(cè)試是否有溫度需要，我們需求的溫度范圍是多少，有室溫、4K-室溫階段（真空下）、有液氮溫度-800K（真空下），對(duì)應(yīng)的是室溫手動(dòng)探針臺(tái)、4K閉循環(huán)探針臺(tái)、液氮高低溫真空探針臺(tái)。
第五，我們需要明白自己的測(cè)試樣品是多大的電極點(diǎn)或者Pad點(diǎn)，需要選擇一款適合自己顯微鏡系統(tǒng)，有最小識(shí)別3μm、1μm、0.1μm之分，因?yàn)殡S著顯微鏡的放大倍數(shù)的增大，相應(yīng)的顯微鏡的工作距離會(huì)縮短（物鏡到樣品表面的距離），我們要考慮關(guān)于工作距離的要求，同時(shí)一般建議我們探針直徑最好是不大于Pad點(diǎn)的四分之一，利于扎針和測(cè)試。
第六，如果我們探針臺(tái)的放置位置有空間尺寸的限制，我們需要考慮整體探針臺(tái)的大小尺寸。
總體來(lái)說(shuō)，如何購(gòu)買一臺(tái)適合自己的探針臺(tái)，我們需要考慮多方面的內(nèi)容?？梢愿鶕?jù)每家探針臺(tái)廠家的參數(shù)及價(jià)格進(jìn)行對(duì)比，最終可以買到一臺(tái)適合自己需求的設(shè)備。
