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          技術文章

          針對測量場景量身定制的陣容

          閱讀:234          發(fā)布時間:2020-7-15

          分光干涉位移型多層膜厚測量儀 SI-T 系列

           從單層到多層,

          可以實現(xiàn)在線穩(wěn)定測量全新

           針對測量場景量身定制的陣容

          多層位移測量型 SI-T10

          參考距離 :

          9 mm

          測量范圍 :

          0.01 ~ 1.0 mm

          特點

          • 簡便測量多層膜
          • 可測量位移
          • ø8 mm &設定距離9 mm 的空間節(jié)省型

          長距離厚度測量型 SI-T80

          參考距離 :

          80 mm

          測量范圍 :

          0.01 ~ 1.0 mm

          特點

          • 設定80 mm 的長距離
          • 抗工件抖動
          • 有利于高溫工件
          • 粘附層也可以穩(wěn)定測量借助 KEYENCE *的光量累計功能,類似粘附層等粗糙的表面,也可以實現(xiàn)穩(wěn)定測量。

            實現(xiàn)廣范圍測量

            在拉伸制程等過程中,可以應用于上游至下游的各種場所。

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