首頁(yè) >> 公司動(dòng)態(tài) >> VACUUBRAND今日故事分享——低溫泵的再生
姓名：lemens Todt
今天，小編和lemens Todt 進(jìn)行了一場(chǎng)面對(duì)面交流，給大家講講實(shí)驗(yàn)過(guò)程中新奇的小故事~
Todt: 我們研究小組目前從事于晶體生長(zhǎng)的材料，主要用來(lái)制造III/V半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)構(gòu)。
其中二維電子氣可是我們的專長(zhǎng)~至于我的研究重點(diǎn)是半導(dǎo)體與超導(dǎo)體的相互作用，其結(jié)果可能對(duì)量子計(jì)算機(jī)產(chǎn)生很重要的影響。
Todt: 半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)構(gòu)是一種特殊的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，它是由兩層以上不同的半導(dǎo)體材料薄膜依次沉積在同一基座上形成，這些材料具有不同的能帶隙。
Todt: 對(duì)于半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)構(gòu)，我們使用分子束外延（MBE）生長(zhǎng)方法——一種物理氣相沉積工藝。使用此方法的顯著優(yōu)勢(shì)是：可以利用原子精度生長(zhǎng)不同材料的復(fù)雜層序列。這種方法適用于低熔點(diǎn)金屬，如銦或鎵。它們被蒸發(fā)后在真空環(huán)境下，在載體層（稱為襯底或晶片）的表面形成定向分子流。一個(gè)原子接一個(gè)原子以所需的結(jié)構(gòu)沉積在晶片上并結(jié)晶成薄膜。
而在我研究的領(lǐng)域內(nèi)，超導(dǎo)層是以鈮為基礎(chǔ)的。這種金屬的熔點(diǎn)極高，高達(dá)2500°C。在這個(gè)過(guò)程中，整個(gè)系統(tǒng)升溫，外來(lái)原子從鋼中擴(kuò)散出來(lái)。因此，樣品可能會(huì)在這個(gè)過(guò)程中損壞。隨后，我們決定使用另一種沉積工藝————磁控濺射。在這個(gè)工藝中，金屬被放置在一個(gè)腔室中，我們向其中注入氬氣。在1 x 10-3 mbar至5 x 10-2mbar的壓力下，點(diǎn)燃?xì)鍤獾入x子體。氬離子撞擊涂層材料的表面，這些被敲除的顆粒然后遷移到晶片上并沉積。
而在這個(gè)環(huán)節(jié)中，真空泵發(fā)揮了很重要的作用。
Todt: 首先，我建造了一個(gè)新的磁控濺射系統(tǒng)（驕傲臉），雖然很有挑戰(zhàn)性，但這讓人興奮！
其次，我們親自組裝了低溫泵，低溫真空泵屬于吸附泵，也是氣體結(jié)合泵，該泵以1500 L/s的速度從磁控濺射系統(tǒng)中吸入氬氣。在泵內(nèi)部，表面被冷卻到幾開爾文，分子和原子可以像在冰箱里一樣凝結(jié)在上面。一旦低溫泵“滿載”，就必須對(duì)其進(jìn)行再生。接著，另一個(gè)真空泵開始發(fā)揮作用——前置泵。在此過(guò)程中，氣體通過(guò)前置泵釋放并泵出，當(dāng)?shù)蜏乇帽怀榭諘r(shí)，泵和腔室必須達(dá)到必要的真空度，在該真空度下低溫泵可以再次冷卻。
Todt: 我們期望得到盡可能純凈的產(chǎn)物，當(dāng)?shù)蜏乇迷偕鷷r(shí)，來(lái)自前置泵的污染物可能會(huì)進(jìn)入系統(tǒng)中，例如空氣中的水、油等。我們希望使用絕對(duì)干凈的前置泵來(lái)避免這些污染。
過(guò)去，我們?yōu)榇藴y(cè)試了各種技術(shù)：我們嘗試使用渦輪泵作為前置泵。但是渦輪泵的軸承會(huì)隨著時(shí)間的推移因振動(dòng)而損壞。所以我們嘗試了螺桿泵VACUU·PURE10。
Todt:首先，我們精確地研究螺桿泵VACUU·PURE 10是否可以在我們的工廠使用。其次，我們正在尋找一種堅(jiān)固耐用且高純度的真空泵：其基本壓力必須至少為10-2 mbar。此外，需要足夠大的抽速來(lái)處理從低溫泵逸出的氣體。當(dāng)然，同樣重要的是，它是絕對(duì)無(wú)油和無(wú)顆粒的。
VACUU·PURE符合所有這些要求。我們?cè)诘蜏乇玫脑囼?yàn)箱上測(cè)試了該泵。螺桿泵沒(méi)有出現(xiàn)故障。并且從質(zhì)譜儀中看到，它沒(méi)有將油和其他碳?xì)浠衔锘蚰p帶入系統(tǒng)。
磁控濺射系統(tǒng)上的VACUU·PURE®螺桿泵
10^-3mbar的極限真空
最大抽度為10 m³/h
100%無(wú)油，不含碳?xì)浠衔?/span>
無(wú)磨損，無(wú)顆粒
非常適合低溫泵的再生
適用于泵送氬氣等輕質(zhì)氣體
設(shè)計(jì)緊湊
方便移動(dòng)
遠(yuǎn)程操作
選擇VACUUBRAND螺桿泵，讓你的實(shí)驗(yàn)和Todt的實(shí)驗(yàn)一樣無(wú)憂無(wú)慮。
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