產(chǎn)品簡介
詳細介紹
新型離子和電子雙束系統(tǒng)為材料研究提供了的納米分析能力。
日立公司久負盛名的高可靠性和高性能設(shè)計在新型雙束系統(tǒng)(超高精密聚焦離子束FIB和高分辨場發(fā)射電鏡FE-SEM)中得到了*體現(xiàn),它具有高效率的樣品制備能力、高精度納米微加工能力和高分辨圖像觀測能力。新的低損傷加工技術(shù)可以很好的滿足感光材料和電子束曝光應(yīng)用的需求;而新開發(fā)的微樣品取樣、樣品裝載和樣品導航功能則進一步提高了分析效果*1。
特點:
超高精密聚焦離子束FIB
低銫FIB*2系統(tǒng)保證了不小于50nA的束流強度(40KV),和1µm的束斑尺寸。
保證了大面積的拋光、硬質(zhì)材料的微加工和高效率的樣品制備。
新開發(fā)的微樣品取樣技術(shù)*2
日立公司技術(shù)微樣品取樣技術(shù)保證了探針的平滑移動,同時新開發(fā)的通過探針生成的吸收電流圖象技 術(shù)用來避免錯誤發(fā)生。
高分辨掃描電鏡
日立公司技術(shù)的的電鏡鏡筒和探頭*2保證了無論FIB是否工作均可以觀測到高分辨點睛圖像。
高精度的終點探測技術(shù)
SEM的高分辨圖像保證了高精度的終點探測,利用實時的FIB圖像實現(xiàn)的Section-View功能可以顯示截面的輪廓圖,在電子感光材料樣品制備中有函大價值。
樣品桿可適應(yīng)TEM/STEM*1*2
側(cè)插式樣品桿可以適用于其它設(shè)備(日立公司NB5000和TEM/STEM)