產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
D07-7CM型 質(zhì)量流量計(jì)
標(biāo) 準(zhǔn):
氣體質(zhì)量流量用氮?dú)?N2)標(biāo)定。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃(273.15K)
標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA,-15V,50mA
輸出電壓檢測(cè)…………0~+5.00V
技術(shù)參數(shù):
滿量程流量范圍(N2) | 5SCCM~10SLM | |
控制范圍 | 2~100%F.S. | |
準(zhǔn)確度 | ±1.5%F.S. | |
線性 | ±0.5~1.5%F.S. | |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S. | |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤7sec | |
工作溫度范圍 | 5~ | |
工作壓差 | <0.01MPa | |
耐壓 | 3MPa | |
漏氣率 | 1×10-8atm.cc/sec He | |
密封材料 | 氟橡膠(或氯丁橡膠) | |
電插頭形式 | DB15 pin(Female) | |
接頭選擇 | VCR | 1/4”或φ4hose、φ6hose |
Swagelok | 1/ | |
抗電磁干擾 | CE | |
重量 | 0.92Kg |