技術(shù)指標(biāo)
進(jìn)樣系統(tǒng)
樣品形式:固體
樣品尺寸:大51.5 mm × 40 mm
樣品重量:重500g
進(jìn)樣系統(tǒng):雙進(jìn)樣系統(tǒng),標(biāo)備除塵過(guò)濾器和預(yù)抽真空系統(tǒng);一個(gè)樣品測(cè)量的同時(shí)給另一個(gè)樣品預(yù)抽真空,互不干擾
自動(dòng)進(jìn)樣機(jī):自動(dòng)機(jī)械手進(jìn)樣系統(tǒng),多可裝168個(gè)樣品
自旋裝置:3種自旋速度(低、中、高)
X射線光管
鈹窗:50um/75um超薄鈹窗,用以保證X射線的高通過(guò)率
陽(yáng)極靶材料:標(biāo)配銠靶,可選銅靶、鉬靶、鎢靶,鉻靶,鉑靶等
工作模式:樣品進(jìn)樣時(shí)保持工作狀態(tài)不變
水冷系統(tǒng):雙路水循環(huán)系統(tǒng),電導(dǎo)率保持在1uS以下
高壓電源
輸出方式:1kV和1mA的標(biāo)準(zhǔn)調(diào)節(jié)單位,通過(guò)12位DA進(jìn)行精細(xì)調(diào)節(jié)
長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性:0.01%/8 hours
溫度穩(wěn)定性:50 ppm/C
(20 ppm/C可選).
數(shù)據(jù)
功率:4kW
KV/mA范圍:電壓20-60KV,電流10-140mA;大電壓75kV,電流160mA可選.
測(cè)角儀
工作模式:創(chuàng)新型鋼帶傳動(dòng)系統(tǒng),無(wú)摩擦,無(wú)回程間隙,帶有圓光柵反饋,θ/2θ兩軸獨(dú)立運(yùn)動(dòng)
大轉(zhuǎn)角速度:6000 2θ/min
測(cè)角精度:0.0006° θ / 2θ
測(cè)角重復(fù)性:0.0002° θ / 2θ
步進(jìn)角度:小 0.0001°,大1°
角度掃描范圍:流氣比例計(jì)數(shù)器:12° to 150°@2θ
閃爍計(jì)數(shù)器: 0° to 120°@2θ
光路
準(zhǔn)直器面罩:?jiǎn)蚊嬲郑?其他尺寸27, 32 or 50mm可選)
主準(zhǔn)直器:多可裝3個(gè): 100, 150, 300, 550, 700 or 4000 um, 可選
主濾光片:多4片: Pb,Al,Cu等元素可選
晶體:多10個(gè): LiF420,LiF220,LiF200,Ge111,PE002,InSb, TIAP,以及用于輕元素測(cè)量的各種人工多層膜晶體.
探測(cè)器:流氣比例計(jì)數(shù)器 (FPC), 可配0.3um厚的窗膜
閃爍計(jì)數(shù)器 (SC)
光室真空度:<15Pa
信號(hào)處理
數(shù)字多道分析儀:12位,80M/s采樣速度,4096道分析能力,采用FPGA框架以及可靠的DSP算法用于信號(hào)和噪聲分離
大計(jì)數(shù)率:流氣比例計(jì)數(shù)器:3Mcps
閃爍計(jì)數(shù)器: 1.5Mcps
脈沖漂移和增益校正:自動(dòng)
時(shí)間校正:自動(dòng)
可以根據(jù)需要設(shè)定任意位置樣品優(yōu)先測(cè)量(軟件設(shè)置或感應(yīng)位設(shè)置)
最大電流≥160mA , 5-160 mA間1 mA連續(xù)可調(diào)
穩(wěn)定性:外電源波動(dòng)±1%時(shí),輸出波動(dòng)為≤±0.00005%
最高設(shè)計(jì)功率≥4.2kW ,最高設(shè)計(jì)電壓≥75kV,最高設(shè)計(jì)電流≥200mA
角度準(zhǔn)確度:≤ 0.001°