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更新時(shí)間:2024-11-27 11:03:50瀏覽次數(shù):2168評(píng)價(jià)
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微米尺度空間分辨率LIBS測(cè)試系統(tǒng)—MEEPLIBS
MEEPLIBS可以在微米尺度上做空間分辨的元素分析,實(shí)現(xiàn)了與傳統(tǒng)的顯微鏡實(shí)現(xiàn)*結(jié)合,標(biāo)準(zhǔn)分析口徑大小為15微米和18微米(zui小可做到4微米),可在室溫大氣環(huán)境中測(cè)試,也可在特定的環(huán)境中測(cè)試。
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料、面板材料的微米尺度空間分辨率的實(shí)時(shí)元素分析。
系統(tǒng)特點(diǎn):
光源:266nm紫外激光光源
具有配衰減器的激光光束整形功能,激光功率軟件可調(diào)
可實(shí)現(xiàn)探測(cè)系統(tǒng)的自動(dòng)溫控
系統(tǒng)中配置攝像機(jī),用戶可實(shí)時(shí)觀測(cè)測(cè)試的樣品區(qū)域
配置電動(dòng)三維調(diào)節(jié)臺(tái)用來校準(zhǔn)激光聚焦位置、提高實(shí)驗(yàn)可重復(fù)性精度,可對(duì)樣品進(jìn)行序列測(cè)量
能分析測(cè)量包括質(zhì)量zui輕的所有元素
無須樣品預(yù)處理,快速檢測(cè)
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)