產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
恒溫真空勻膠機(jī)/控溫型勻膠機(jī)/真空勻膠烤膠機(jī)Spin Coater
恒溫真空勻膠機(jī)烤膠機(jī)Spin Coater 產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
主要用于液體,膠體在材料表面薄膜的形成,適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工藝??稍诳蒲?,教育,生產(chǎn)中應(yīng)用。
可以完成有機(jī)物的勻膠。(攝氏溫度200度以下)。
完成勻膠時(shí),還可以完成烤膠。
采用空間式加熱的控溫型勻膠機(jī),可以進(jìn)行邊加熱邊旋轉(zhuǎn)的控溫勻膠操作,對(duì)提高膠體流動(dòng)性,加速溶劑揮發(fā),勻膠后直接烤膠等操作提供了便利的解決方案。
控溫精度高、重復(fù)性好,技術(shù)*,性能優(yōu)良。
標(biāo)配4英寸真空吸盤(pán),加熱速度快,控溫精度高。不同尺寸基片為保證緊密接觸加熱轉(zhuǎn)盤(pán),可定制設(shè)計(jì)更換。
恒溫真空勻膠機(jī)烤膠機(jī)Spin Coater 特性:
1、空間式恒溫加熱,室溫-200℃。精度0.1℃
2、可以完成有機(jī)物的勻膠。(攝氏溫度200度以下)
完成勻膠時(shí),還可以完成烤膠。
3、可設(shè)定存儲(chǔ)26個(gè)不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過(guò)程。
4、每個(gè)涂敷工藝過(guò)程可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);
5、可以控制加速度
6、平穩(wěn)轉(zhuǎn)速,預(yù)設(shè)值與實(shí)際值誤差率1‰。有視頻為證(如想觀看視頻,請(qǐng)聯(lián)系我)
7、端跳1mm的±2.5%
主要特點(diǎn):
高精度多程序控制器:
可設(shè)定存儲(chǔ)26個(gè)不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過(guò)程。
每個(gè)涂敷工藝過(guò)程可以設(shè)置25步不同的勻速度狀態(tài);
加速度及負(fù)加速度可自主控制。
液晶顯示屏可以實(shí)時(shí)顯示:
1. 第N個(gè)涂敷工藝過(guò)程
2. 所處工作段
3. 真空吸片狀態(tài)。
4. 設(shè)置時(shí)間;及實(shí)時(shí)運(yùn)行時(shí)間。
5. 設(shè)置速度;及實(shí)時(shí)速度狀態(tài)。
中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。
人機(jī)交互式對(duì)話,簡(jiǎn)潔,明了。
儀器真空吸片系統(tǒng)更安全:
旋涂?jī)x安裝有真空度傳感器,涂敷工作過(guò)程電腦實(shí)時(shí)檢測(cè)系統(tǒng)真空度,
必須在安全的真空度下,電機(jī)啟動(dòng),運(yùn)行。保障可靠吸片,不飛片。
頻伺服電機(jī),轉(zhuǎn)速精度更高:
300 - 10000轉(zhuǎn)/分,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:+ - 0.1 %
轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分
不銹鋼機(jī)殼 聚四氟(塑料王)材質(zhì)工作腔
不銹鋼機(jī)殼,外表面潔凈光亮。美觀,方便清洗。
溫度控制系統(tǒng) :
工作腔內(nèi)板式加熱體,加熱均勻。
控制溫度范圍:室溫--攝氏溫度200度。
聚四氟(塑料王)材質(zhì)工作腔
技術(shù)參數(shù):
單相交流電源:220V.50Hz
電機(jī)功率:150W
旋轉(zhuǎn)真空吸盤(pán)直徑:4英寸(102mm,標(biāo)準(zhǔn)配置)
可選擇配置:基片直徑10—200mm可接受訂貨。
轉(zhuǎn)數(shù):300 - 10000轉(zhuǎn)/分。
可設(shè)定時(shí)間:1---9999秒。
控制溫度:室溫--攝氏溫度200度。
控制精度:1攝氏度
標(biāo)準(zhǔn)包裝:
結(jié)構(gòu)尺寸:260mm寬x 350mm深x 260 mm高,
可選配件:
1、60升/分有油真空泵
2、特殊真空吸盤(pán)
3、70升/分無(wú)油真空泵