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質(zhì)量范圍：1~100amu 1~300amu
質(zhì)量過濾器：6mm四極桿
一般靈敏度：0.15mA/Torr
壓力范圍：大氣壓到10-9Torr，皮拉尼壓力（真空）計和貝阿德-阿爾珀特真空計組合
掃描頻率范圍：1,000~0.1 amu/sec
質(zhì)量校正穩(wěn)定性：加熱后（30分鐘）+/-0.1 amu
分辨率：質(zhì)量數(shù)范圍內(nèi)1amu
離子源：開放式，電離源
燈絲材質(zhì)（雙燈絲設(shè)計）：釷銥
電子能量范圍：10-150 eV
電子發(fā)射電流：0.1-5 mA
探針材料：304SS，科瓦鐵鎳鈷合金，氧化鋁，鎢，依，銅，鎳
探針鑲嵌法蘭：70mm
退火溫度：300℃
電源zui高使用溫度：50℃
電源要求：2.1A/24伏直流電，100/250伏交流電，50/60赫茲電源適配器供應(yīng)
總重：2.27Kg

Extrel殘余氣體分析儀可用在兩個質(zhì)量數(shù)范圍：1~100amu或者1~300amu。系統(tǒng)標(biāo)配法拉利杯檢測器，可選配法拉利杯/電子倍增器雙檢測器。

系統(tǒng)裝備有一個皮拉尼壓力（真空）計和貝阿德-阿爾珀特真空計，這使得用戶能得到從大氣壓到超高真空的全范圍壓力檢測。

Extrel殘余氣體分析儀裝配上完整的泵站后可作為一個系統(tǒng)使用。泵站包括：一個70 l/s渦輪分子泵，膜泵， 毛細(xì)管進(jìn)樣口。腔使用2 （二又四分之三）英寸法蘭鑲嵌。

Extrel殘余氣體分析儀利用RS-232或USB接口與Windows 2000或windows XP操作系統(tǒng)通訊。軟件功能強(qiáng)大，易于使用。

Extrel殘余氣體分析儀是一種結(jié)果可靠、操作簡便的全壓力范圍檢測的殘余氣體分析儀。它在同價位的儀器中能提供的性能，能提供理想的背景氣分析、泄露氣體檢測和真空腔表征。

應(yīng)用領(lǐng)域：

殘余氣體分析
UHV腔
除氣
泄露檢測
TPD
等離子體分析
燃燒分析
排放分析

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