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能薄膜性測(cè)試儀型號(hào):HAD0-70601

儀器由四探針測(cè)試儀和非晶硅薄膜電導(dǎo)率測(cè)量?jī)x兩分組成。具有測(cè)量度，靈敏度，穩(wěn)定性好，測(cè)量范圍寬，結(jié)構(gòu)緊湊，使用方便等點(diǎn)。儀器適用于半導(dǎo)體材料廠，半導(dǎo)體器件廠，科研單位，等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能的測(cè)試。

四探針測(cè)試儀由主機(jī)，測(cè)試架等分組成?？梢詼y(cè)量片狀，塊狀，塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率，測(cè)量擴(kuò)散層的薄層電阻（亦稱(chēng)方塊電阻），能材料暗電導(dǎo)和光電導(dǎo)及溫度的變化的性，還可以對(duì)金屬導(dǎo)體的低，中值電阻行測(cè)量。測(cè)試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和耐磨碳化鎢探針制成，故定位準(zhǔn)確，游移率小，壽命長(zhǎng)。

非晶硅薄膜電導(dǎo)率測(cè)量?jī)x由樣品室，溫控系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，阻測(cè)量系統(tǒng)等分組成。

1. 測(cè)量范圍：電阻測(cè)量范圍：1×106 1×1017Ω；

電阻率：0.001～200Ω cm;

電導(dǎo)率：0.005～1000s/cm;

2. 可測(cè)晶片直徑：200mm×200mm;

3. 探針：碳化鎢或速鋼；探針間距：1± 0.01mm;

4. 針間緣電阻： ≥ 1000 MΩ；機(jī)械游移率：≤0.3%；

5. 本底真空度： ≤10Pa,氣壓可控范圍：10～400Pa;

襯底加熱溫度：室溫度～200℃

能薄膜性測(cè)試儀 能薄膜性測(cè)試儀HZDH0-70601

產(chǎn)品名稱(chēng)：綜合校驗(yàn)儀
產(chǎn)品型號(hào)：HS-VD3002

綜合校驗(yàn)儀型號(hào)：HS-VD3002

本儀器采用三路立LED數(shù)碼顯示系統(tǒng)，內(nèi)置兩組立的穩(wěn)定信號(hào)發(fā)生器，可同時(shí)顯示兩路輸出直模擬電壓、電信號(hào)及路測(cè)量直電、電壓信號(hào)。本儀器采用交供電、顯示清楚、穩(wěn)定，既能使用于實(shí)驗(yàn)室對(duì)自動(dòng)化儀表行維修、校驗(yàn)及計(jì)量，又能使用于現(xiàn)場(chǎng)，對(duì)儀表行安裝、調(diào)試及維修。

本儀器能齊、顯示直觀、操作簡(jiǎn)單、攜帶方便、適用面廣，是種理想的校驗(yàn)儀器。

二 主要標(biāo)

◆ 兩種輸出電壓、電信號(hào)

·OUT1: 1.000V、3.000V、5.000V 定值

0～5.000V 連續(xù)可調(diào)（內(nèi)阻250Ω）

mV1: 0～ 19.999mV 連續(xù)可調(diào)（內(nèi)阻1Ω）

mV2: 0～ 100.00mV 連續(xù)可調(diào)（內(nèi)阻5Ω）

mA1: 0～ 19.999mA 連續(xù)可調(diào)（RL≤ 600Ω）

mA2: 0～ 22.00mA 連續(xù)可調(diào)（RL≤600Ω）

·OUT2 : 1V、2V、3V、4V、5V 定值（內(nèi)阻250Ω）

4.000mA、8.000mA、12.000mA、16.000mA、19.999mA 定值（RL≤600Ω）

◆ 輸出準(zhǔn)確度： ±0.05%F.S±1個(gè)字

◆ 測(cè)量電壓、電信號(hào)

DCV: 0.2V、2V、20V、200V 四個(gè)量程

DCA： 0～200mA

◆ 測(cè)量準(zhǔn)確度： ±0.05%F.S±1個(gè)字

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