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          1200℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-80-I-F3LV
          • 1200℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-80-I-F3LV
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          貨物所在地:安徽合肥市

          更新時間:2024-07-23 21:00:06

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          OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),其真空度可達到 10-2 torr.

            OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),其真空度可達到 10-2 torr.

          技術參數(shù)

          高溫爐殼體

          • 采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統(tǒng),使得殼體表面溫度小于55
          • 內爐膛表面涂有1750℃進口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度

          功率

          2.5 KW

          電壓

          AC 208-240V 單相, 50/60 Hz 

          加熱元件

          摻鉬鐵鉻鋁合金(表面涂有氧化鋯涂層,使其zui大程度延長使用壽命)

          zui高工作溫度

          1200

          連續(xù)工作溫度

          1100

          zui快升溫速率

          <= 20 

          爐管材質和尺寸

          石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 

          加熱區(qū)長度

          400 mm

          恒溫區(qū)長度

          150  (+/-1 )

          控溫系統(tǒng)

          • PID30段程序化控溫  
          • 控溫儀表操作視頻

          控溫精度

          +/- 1 

           

          真空密封系統(tǒng)

           

           

           

          (點擊圖片查看詳細資料)

          兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥),zui大漏氣率6 mtorr/min

          真空泵

          采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護環(huán)境和人體健康,過濾的zui小微粒直徑為0.3微米。

          數(shù)字式真空顯示計

           

          • 美國進口CVM-211數(shù)顯真空計,已安裝在不銹鋼法蘭上,測量范圍為10-4Torr~1000Torr
          • 可選:本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉換。(點擊圖片查看詳細介紹)

          混氣系統(tǒng)

          • 三個浮子流量計(準確率4%FS)
          • 三路浮子量程分別為
          • 10-100 cc/min.
          • 16-160 cc/min.
          • 25-250 cc/min
          • 內部安裝有一混氣罐 

           

           

          尺寸

          • 爐體尺寸: 550 x 380 x 520mm
          • 混氣系統(tǒng)尺寸: 600x600x597 mm

          凈重

          60kg

          運輸重量

          200

          質保期

          一年質保期(不包括爐管 、加熱元件和密封圈的損耗件)

           CE Certificate 

           

           

           

           Operation Manual  Download Catalog    About shipping / Handling      Quick test instruction

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