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          雙溫區(qū)開啟式真空管式爐 (管徑80mm, 1200C Max) OTF-1200X-80-II-F
          • 雙溫區(qū)開啟式真空管式爐 (管徑80mm, 1200C Max)  OTF-1200X-80-II-F
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          貨物所在地:安徽合肥市

          更新時間:2024-07-23 21:00:06

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          OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通過CE認證的雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用雙旋片機械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),可以混合1-3種氣體,其真空度可達到 10-2 torr.

            OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通過CE認證的溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用雙旋片機械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),可以混合1-3種氣體,其真空度可達到 10-2 torr.

            技術參數(shù)

          殼體結構

          • 雙層殼體結構,并帶有分冷,使得殼體表面的溫度小于 55oC
          • 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽

          功率

           2.5 KW

          電壓

           AC 208-240V單相, 50/60 Hz

          加熱元件

           Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

           zui高工作溫度

           1200 ℃

           連續(xù)工作溫度

           1100 ℃

          zui大升溫速率

           <= 20  ℃ /min

          爐管尺寸和材質

           石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm

          加熱區(qū)長度

          • 兩個加熱區(qū):  每個溫區(qū)200 mm (8")  
          • 總加熱區(qū)長度400 mm 

          恒溫區(qū)長度

            150mm  (+/-1oC)

          溫度控制器

           

           

           

           

          • 兩個精密的溫度控制器,單獨的控制兩個溫區(qū)
          • PID方式控制,通過PWM固體繼電器
          • 30 可編程智能溫度調節(jié)儀,可設置30段升降溫程序
          • 帶有過熱和斷偶保護
          • 控溫儀表操作視頻

          控溫精度

           +/- 1oC

          真空密封系統(tǒng)

           

           

           

           

           

           

           

           

          • 兩個不銹鋼密封法蘭,法蘭上有KF-25接口和法蘭上已經(jīng)安裝真空計,閥門
          • 真空度:通過機械泵真空度可以達到5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr),如想獲得更高的真空度可以采用分子泵,真空度可以達到10-5 torr.
          • 泄漏率< 5 m-torr/min.    
          • (法蘭安裝示意圖)

          真空泵

           

           采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產生的油煙,減少泵油的損耗,保護環(huán)境和人體健康,過濾的zui小微粒直徑為0.3微米。

          數(shù)字式真空表

          • 美國進口CVM-211數(shù)顯真空計,已安裝在不銹鋼法蘭上,測量范圍為10-4Torr~1000Torr (采用皮拉尼式的方法)
          • 可選:本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉換。(點擊圖片查看詳細介紹)

          混氣系統(tǒng)

           

           

           

           

           

          • 3個浮子流量計(精確度4%FS)安裝在一個移動架上,可以推動,可同時混入三種不同氣體。 
          • *路氣體流量范圍為10-100 cc/min.  
          • 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min.  
          • 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min.
          •  一個壓力表安裝在移動加上,壓力表直接于移動架內的混氣箱相連接 ,來監(jiān)測混合氣體的壓力    

          閥門

          四個不銹鋼閥門安裝移動架的側面板上分別在三個氣體的入口處

          尺寸

           爐子: 550 x 380 x 520 

          移動架: 600x600x597

           凈重

          60KG 

          運輸重量

          600 lbs 

          運輸包裝尺寸

           Two cases in one pallet:  45x45x35/case

          質保期

          一年質保期,相關耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件

          質量認證

           

          CE Certificate

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