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          1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-4-HVC
          • 1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-4-HVC
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          貨物所在地:安徽合肥市

          更新時(shí)間:2024-07-23 21:00:06

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          GSL-1700X-4-HVC是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng),其爐管直徑為4英寸,它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,其Z高工作溫度可達(dá)1600℃,極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

               GSL-1700X-4-HVC是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng),其爐管直徑為4英寸,它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,其zui高工作溫度可達(dá)1600,極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

          技術(shù)參數(shù)

          GSL-1700X 系列管式爐

          殼體

          • 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷,使得殼體表面的溫度 < 55°C.
          • 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
          • 保溫材料采用高純氧化鋁纖維,環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失
          • 真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動(dòng)架上,方便移動(dòng).
          • 儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭,閥門,高真空機(jī)組

          爐管

          • 材質(zhì)高純氧化鋁陶瓷管
          • 一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上
          • 4.1 "OD x 3.625 " ID x 40 " L  (99.8%)

          功率

           

          6KW

          工作電壓

           

          AC 208-240V單相, 50/60Hz

          加熱元件

           

          1800°C grade MoSi2 heating element

          工作溫度

          • zui高工作溫度.: 1650°C
          • 連續(xù)工作溫度.: 1600°C

          升溫速率

           

           <=5°C/min

          加熱區(qū)長(zhǎng)度

          • 加熱區(qū)長(zhǎng)度: 457 mm (18")
          • 恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 150 mm (6")(+/-1°C)

          溫控系統(tǒng)

          • 采用PID方式自動(dòng)控制,并可設(shè)置30段升降溫程序
          • 控溫精度: ±1°C                   
          • 控溫儀表操作視頻
          • 熱電偶: B 型,已經(jīng)安裝在爐內(nèi)

          真空法蘭

          • 一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝
          • 法蘭上帶有一機(jī)械壓力表
          • 兩個(gè)精密針閥
          • 一個(gè)KF-25連接器 KF-25 轉(zhuǎn) KF-40 抽氣接口
          • 一個(gè)1/4"卡套接頭

          外形尺寸

           

          550 x 380 x 520mm

          高真空機(jī)組

          功率

           

          100~110W

          工作電壓

           

          AC 208-240V單相, 50/60Hz

          外形尺寸

           

          600(L) x 600(W) x 700(H), mm

          殼體

          • 殼體尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
          • zui大承載量:       600 Lbs on top
          • 分子泵控制面板:   LCD 數(shù)字顯示
          • 內(nèi)裝有一  Pfeiffer vacuum pump  made in Germany:    

          控制面板

          • 一鍵操作:按下"start" 鍵后,隔膜泵和渦輪分子泵將會(huì)啟動(dòng)(隔膜泵先啟動(dòng)等真空度達(dá)到10-2mbar后,分子泵自動(dòng)啟動(dòng)) 
          • 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率:根據(jù)腔體內(nèi)的真空度,系統(tǒng)自動(dòng)控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率

          抽氣速率

          • N2     33 L/s
          •  He     39 L/s   (2340L/minute)
          • H2   32 L/s

          工作范圍

           

          1000 mbar to <1E-7 mbar

          極限

           

          <1E-8 mbar (without any leaking )

          質(zhì)量流量控制器

          殼體

          • 采用 316不銹鋼制作
          • 混氣箱尺寸: Φ80X120mm  
          • 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm
          • MFC控制面板 (Click to enlarge),可根據(jù)客戶要求定制

          功率

           

          18W

          工作電壓

           

          AC 208-240V, 單相, 50/60Hz

          質(zhì)保期

           

          一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件

          質(zhì)量認(rèn)證

          CE Certificateed

            Operation Manual



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