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          小型等離子清洗機(jī)
          • 小型等離子清洗機(jī)
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          貨物所在地:安徽合肥市

          更新時間:2024-07-23 21:00:06

          瀏覽次數(shù):318

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          小型等離子清洗機(jī)集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計算機(jī)控制技術(shù)、軟件編程技術(shù),采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵,清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時間內(nèi)*清洗掉有機(jī)污染物,清洗程度可達(dá)到分子級。另外,其樣品臺可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實現(xiàn)離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。

               小型等離子清洗機(jī)集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計算機(jī)控制技術(shù)、軟件編程技術(shù),采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵,清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時間內(nèi)*清洗掉有機(jī)污染物,清洗程度可達(dá)到分子級。另外,其樣品臺可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實現(xiàn)離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。


           技術(shù)參數(shù)

          主要特點

          •    采用氣體作為清洗介質(zhì),避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。
          •    可短時間內(nèi)*清洗掉有機(jī)污染物。
          •    清洗程度可達(dá)到分子級。
          •    可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。
          •    清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強(qiáng)粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌。
          •    樣品臺可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實現(xiàn)離子蝕刻。
          •    廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。

          參數(shù)

          •    電壓:AC220V  10A
          •    消耗功率:<500W(包括真空泵)
          •    RF電源:輸出功率100W,輸出頻率13.56MHz
          •    腔體:Φ190mm×98mm
          •    石英管:Φ180mm×55mm,壁厚7mm
          •    內(nèi)腔:Φ165mm×55mm
          •    清洗電極:Φ120mm
          •    樣品臺:Φ150mm,有效尺寸Φ140mm
          •    樣品臺與電極間距:15mm-50mm可調(diào)
          •    抽氣管:Φ12mm
          •    極限真空度:0.1Pa
          •    工作真空度:60Pa-500Pa
          •    氣路數(shù)量:2路(選裝)
          •    流量控制器數(shù)量:12
          •    流量顯示儀:2通道
          •    氣路接口:Φ6mm
          •    加熱樣品臺:Φ140mm,加熱樣品溫度RT-600℃±1℃(選裝)
          •    冷卻水壓力:0.2KPa-0.4KPa
          •    工作環(huán)境:溫度5-35℃,濕度<80%(相對濕度)不結(jié)露,海拔高度0-2000m

          產(chǎn)品規(guī)格

          •  尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵)
          •   重量:20kg(不含真空泵)

          可選配置

          •    加熱樣品臺
          •    流量控制器(量程10、50、100,zui多可增加2個通道)

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