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          單溫區(qū)GSL-1100X-6-S-6單溫區(qū)CVD真空管式爐
          • 單溫區(qū)GSL-1100X-6-S-6單溫區(qū)CVD真空管式爐
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          貨物所在地:安徽合肥市

          更新時間:2024-07-11 21:00:05

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          GSL-1100X-6-S 是一款爐管內(nèi)徑為 6“ 的真空管式爐 , 它可以在Z大5“的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下). 該爐的Z高工作溫度為 1100°C, 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器,溫控精度: ±1°C。

              GSL-1100X-6-S 是一款爐管內(nèi)徑為  6" 的真空管式爐 , 它可以在zui大5“的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下). 該爐的zui高工作溫度為 1100°C, 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器,溫控精度: ±1°C。


          技術(shù)參數(shù)

          爐體結(jié)構(gòu)

          • 雙層殼體,循環(huán)風(fēng)冷
          • 爐體表面溫度< 70 oC
          • 采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能

          工作電壓

          AC 220V

          功率

          8KW

          爐管規(guī)格

          • 6" O.D x  40" 
          •  標(biāo)配內(nèi)包含一只石英管多余的管子可單獨(dú)訂購 (點(diǎn)擊下圖查看)

          加熱元件

          NiCrAl 電阻絲

          工作溫度

          • 工作溫度: 400 -1100°C
          • 升降溫速率: 10°C/min(max)

          加熱區(qū)

          • 加熱區(qū)總長:    600mm (24'')
          • 恒溫區(qū)長度中心200mm (精度±1°C)
          • 800℃時爐膛溫度分布曲線點(diǎn)擊下圖查看)    

          控溫儀

          • 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器
          • 設(shè)有一個額外的溫度校準(zhǔn)檢測系統(tǒng)
          • K型熱電偶測溫.
          • 溫控精度: ±1°C
          • 軟件接口、模塊和PC機(jī)不在標(biāo)配內(nèi)需額外訂購
          • 可選: PC接口和軟件

          密封法蘭和進(jìn)氣接口

          • 不銹鋼真空密封法蘭雙硅膠密封圈密封真空度可達(dá)到  (機(jī)械泵:10-2 torr、分子泵:10-4 torr).  真空泵不包含在內(nèi)
          •  右端法蘭上設(shè)有一個鎧裝熱偶檢測口和KF40真空接口.   如需對爐膛溫度進(jìn)行校準(zhǔn)請訂購36" 長 x 1/4"dia  K 型熱電偶)
          • 包括兩個高純氧化鋁或石英管堵,設(shè)備使用時右端必須安裝管堵阻止熱的輻射

          產(chǎn)品尺寸

          爐體:  1000L x 680W x 920 H  mm

          凈重

          250Kg

          保修期

          整機(jī)保修一年,相關(guān)耗材除外。(如密封圈、爐管等)

          質(zhì)量認(rèn)證

             Certificate

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