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          膜厚監(jiān)測儀--EQ-TM106
          • 膜厚監(jiān)測儀--EQ-TM106
          舉報

          貨物所在地:安徽合肥市

          更新時間:2024-11-05 21:00:07

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          EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理,結(jié)合先進的頻率測量技術(shù),進行膜厚的在線監(jiān)測。主要應(yīng)用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過程中,對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監(jiān)測。根據(jù)實時速率可以輸出PWM模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。

          EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理,結(jié)合先進的頻率測量技術(shù),進行膜厚的在線監(jiān)測。主要應(yīng)用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過程中,對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監(jiān)測。根據(jù)實時速率可以輸出PWM模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。


          技術(shù)參數(shù)

          主要特點

          • 本機可與計算機連接。
          • 顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點,可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM  
          • 控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。
          • 通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進行設(shè)置,并可將所測相關(guān)數(shù)據(jù)寫入Excel文件。
          • 具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優(yōu)點。

          EQ-TM106-1監(jiān)測組件


          • 電源:DC   5V(±10%),zui大電流400mA
          • 頻率分辨率:±0.03Hz
          • 膜厚分辨率:0.0136?(鋁)
          • 膜厚準確度:±0.5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置,材料應(yīng)力,溫度和密度
          • 測量速度:100ms-1s/次,可設(shè)置
          • 測量范圍:500000?(鋁)
          • 標準傳感器晶體:6MHz
          • 計算機接口:RS-232/485串行接口(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置,數(shù)據(jù)位:8,停止位:1,校驗:無)
          • 模擬輸出:8比特分辨率,PWM脈寬調(diào)制輸出(集電極開路或內(nèi)部5V輸出)
          • 工作環(huán)境:溫度0-50℃,濕度5%-85%RH,不得有冷凝水珠
          • 外形尺寸:90mm×50mm×18mm

           

          EQ-TM106-2顯示儀


          • 輸入電源:AC 220V±10%
          • 輸出電源:DC   5V  3A
          • 顯示器:12×2數(shù)碼管與LED
          • 通訊端口:RS-485(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置,數(shù)據(jù)位:8位,停止位:1位  ,奇偶校驗:無)
          • 外形尺寸:182mm×65mm×160mm

           

          EQ-TM106-3探頭


          • 適用晶片頻率:6MHz
          • 適用晶片尺寸:Φ14mm
          • 安裝法蘭:CF35
          • 冷卻水管:Φ3mm,長度300mm、500mm、1000mm
          • 冷卻水壓:<0.3MPa
          • 氣動擋板路管:Φ3mm
          • 壓縮空氣壓力:<0.8MPa,> >0.5MPa
          • 烘烤溫度:通水狀態(tài)<200℃,不通水狀態(tài)法蘭<100℃
          • 電氣接口:BCN插座

          標準配件

          1

          EQ-TM106-1監(jiān)測組件

          1個

          2

          EQ-TM106-2顯示儀

          1臺

          3

          EQ-TM106-3探頭

          1個

           

          質(zhì)保期

          一年質(zhì)保期,終身維護 

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