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中美合資合肥科晶材料技術有限公司
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目錄:中美合資合肥科晶材料技術有限公司>>晶體產(chǎn)品>>功能外延薄膜系列>> SOI薄膜(Si+SiO2+Si)
更新時間:2024-10-22 13:40:04瀏覽次數(shù):1760評價
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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
產(chǎn)品名稱:
SOI基片(Si+SiO2+Si)
常規(guī)尺寸:
dia4" 鍍膜層:20um Si P/B + 2umSiO2+500um Si undoped
技術參數(shù):
國產(chǎn)SOI:膜層厚度可以按照客戶需求加工
①頂層2um±0.5(5點), BOX層2um±0.1 , P型,總厚度大約621um, 平整度LTV < 1um
②頂層3um±0.5(5點), BOX層2um±0.1,P型,總厚度大約622um, 平整度LTV < 1um
電阻率Ω.cm:15-25 ohm.cm;
進口SOI:
點擊查看:http://mtixtl.com/soiwafersilicononinsulator.aspx
SOI
φ6″100>/<110>鍍2umSiO2層鍍2umSi層-1sp
φ4″<100>/<110>鍍0.375umSiO2層鍍0.2umSi層-1sp
φ4″<100>/<110>鍍0.375umSiO2層鍍1umSi層-1sp
φ6″<100>/<110>鍍0.375umSiO2層鍍1umSi層-1sp
φ6″-<100>鍍0.375umSiO2層鍍0.1umSi層-1sp
φ6″-<100>鍍3umSiO2層鍍220nmSi層-1sp
備注:
1000級超凈室100級超凈袋單片盒或25片插盒封裝
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