黄色视频不卡_午夜福利免费观看在线_亚洲国产精品999在线_欧美绝顶高潮抽搐喷水_久久精品成人免费网站_晚上一个人看的免费电影_国产又色又爽无遮挡免费看_成人国产av品久久久

對更強大、更快速的電子設(shè)備（智能手機、計算機、平板電腦、顯示器等）的需求不斷增長，這推動了集成電路（IC）芯片 和半導(dǎo)體組件的圖案尺寸縮小到10納米以下[1-3]。為了實現(xiàn)更小的納米級尺寸，紫外光刻圖案化步驟的數(shù)量已經(jīng)增加，隨 之而來的是刻蝕過程中的缺陷和有機污染的可能性增加[2]。這種殘留污染可能對工藝控制、產(chǎn)量以及電子組件的性能和可 靠性產(chǎn)生負(fù)面影響。

在半導(dǎo)體加工過程中，需要使用光刻膠來對晶圓進行刻蝕。一旦刻蝕形成，就必須去除光刻膠以進行進一步的加工，但通常 會留下光刻膠殘留物和其他有機污染物。在晶圓、掩模、墊片和半導(dǎo)體組件的表面上可以發(fā)現(xiàn)許多不同類型的有機污染物。 典型的例子包括光刻膠殘留物、外來有機顆粒和液體、灰塵以及來自材料的纖維。另一個常見的有機污染源是人體頭發(fā)、皮 簡介 對更強大、更快速的電子設(shè)備（智能手機、計算機、平板電腦、顯示器等）的需求不斷增長，這推動了集成電路（IC）芯片 和半導(dǎo)體組件的圖案尺寸縮小到10納米以下[1-3]。為了實現(xiàn)更小的納米級尺寸，紫外光刻圖案化步驟的數(shù)量已經(jīng)增加，隨 之而來的是刻蝕過程中的缺陷和有機污染的可能性增加[2]。這種殘留污染可能對工藝控制、產(chǎn)量以及電子組件的性能和可 靠性產(chǎn)生負(fù)面影響。 膚碎屑和來自皮膚的油脂物質(zhì)。

因此，隨著半導(dǎo)體圖案尺寸的縮小和集成電路（IC）制造量的增加，晶圓表面上的光刻膠殘留物和有機污染物問題變得越來 越嚴(yán)重。IC的密度在增加，因此在生產(chǎn)過程中保持清潔表面至關(guān)重要。光學(xué)顯微鏡通常用于晶圓檢查，并且在生產(chǎn)過程中高 效地可視化少量殘留污染物方面，相比于明場或暗場等其他照明方法，熒光顯微鏡具有優(yōu)勢[4] 在半導(dǎo)體加工過程中，需要使用光刻膠來對晶圓進行刻蝕。一旦刻蝕形成，就必須去除光刻膠以進行進一步的加工，但通常 會留下光刻膠殘留物和其他有機污染物。在晶圓、掩模、墊片和半導(dǎo)體組件的表面上可以發(fā)現(xiàn)許多不同類型的有機污染物。 典型的例子包括光刻膠殘留物、外來有機顆粒和液體、灰塵以及來自材料的纖維。另一個常見的有機污染源是人體頭發(fā)、皮 簡介 對更強大、更快速的電子設(shè)備（智能手機、計算機、平板電腦、顯示器等）的需求不斷增長，這推動了集成電路（IC）芯片 和半導(dǎo)體組件的圖案尺寸縮小到10納米以下[1-3]。為了實現(xiàn)更小的納米級尺寸，紫外光刻圖案化步驟的數(shù)量已經(jīng)增加，隨 之而來的是刻蝕過程中的缺陷和有機污染的可能性增加[2]。這種殘留污染可能對工藝控制、產(chǎn)量以及電子組件的性能和可 靠性產(chǎn)生負(fù)面影響。 膚碎屑和來自皮膚的油脂物質(zhì)。 。

提供商	徠卡顯微系統(tǒng)（上海）貿(mào)易有限公司	下載次數(shù)	0次
資料大小	1.1MB	資料類型	PDF 文件 免費下載該資料
資料圖片	點擊查看	瀏覽次數(shù)	497次