美國(guó)Keyhigh 壓電閥PEV-1（原型號(hào)為：美國(guó)Maxtek MV-112） 主要技術(shù)特點(diǎn)：

1、控制模式：開(kāi)環(huán)控制和閉環(huán)控制。

2、易于集成：可與國(guó)產(chǎn)自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀配套使用，來(lái)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，達(dá)到穩(wěn)定壓強(qiáng)的目的，性?xún)r(jià)比高，同時(shí)亦可選擇進(jìn)口壓強(qiáng)控制儀。

3、響應(yīng)時(shí)間快。

4、壓電閥PEV-1性能穩(wěn)定，壓電陶瓷片壽命長(zhǎng)。

5、無(wú)機(jī)械連接件，無(wú)伺服馬達(dá)，無(wú)磨損，在斷電的情況下可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)關(guān)閉的特點(diǎn)。

技術(shù)參數(shù)：

1、流量0-500Sccm。

2、響應(yīng)時(shí)間2毫秒。

3、集成漏率5×10-8sml／sec。

4、驅(qū)動(dòng)電壓0-100VCD／0-24VDC。

5、電路連接標(biāo)準(zhǔn)BNC接頭（Q9）。

6、溫度范圍100C至600C。

7、大入口壓強(qiáng)50PSI。