目錄:孚光精儀(中國(guó))有限公司>>光學(xué)精密儀器>> FPBUE-SWTS自動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)移系統(tǒng)
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更新時(shí)間:2024-08-22 14:39:47瀏覽次數(shù):278評(píng)價(jià)
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自動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)移系統(tǒng)SWTS是自動(dòng)晶片轉(zhuǎn)移機(jī),可以根據(jù)需要分割、合并、排序、壓縮晶片批次或創(chuàng)建單個(gè)晶片混合。
自動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)移系統(tǒng)配備有兩個(gè)加載端口和機(jī)械晶片凹口/平面對(duì)準(zhǔn)器。晶片處理通過(guò)邊緣夾持實(shí)現(xiàn),因此不需要真空。
自動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)移系統(tǒng)還配備了一個(gè)自動(dòng)批量晶片夾持器,用于轉(zhuǎn)移整批晶片。
自動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)移系統(tǒng)可用于100、125、150和200mm晶片。
自動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)移系統(tǒng)特點(diǎn)
吞吐量可達(dá)700 wph
低擁有成本
桌面系統(tǒng)或帶支架
不需要真空
單質(zhì)量晶圓傳輸
*SECS/GEM合規(guī)
Windows操作系統(tǒng)
靜電安全
RFID磁帶識(shí)別
可能升級(jí)到WAFERIIdentification
可靠,無(wú)易損件
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)