目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>光學(xué)測量系列>>探針臺>> FPMIC-A4P自動四探針電阻率mapping測試系統(tǒng)
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 類型 | 數(shù)字式電阻測試儀 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,電氣 |
自動四探針電阻率mapping測試系統(tǒng)是為晶圓電阻率繪圖mapping設(shè)計的工業(yè)級自動四點(diǎn)探針電阻率測試系統(tǒng)。采用成熟的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，提供快速、準(zhǔn)確和可靠的晶圓樣品電阻率分布測量。
自動四探針電阻率mapping測試系統(tǒng)四點(diǎn)探針通過電流通過四點(diǎn)探針的外部點(diǎn)并測量內(nèi)部點(diǎn)的電壓來測量各層半導(dǎo)體晶片的平均電阻,可滿足100mm、150mm、200mm或300mm晶圓測試,自動四探針電阻率mapping測試系統(tǒng)四點(diǎn)探頭設(shè)計為免維護(hù)且非常易于使用。該自動四探針電阻率mapping測試系統(tǒng)有多種選擇，包括廣泛的熱測試、非標(biāo)準(zhǔn)材料的定制卡盤和幾乎任何應(yīng)用定制的4點(diǎn)探針。
自動四探針電阻率mapping測試系統(tǒng)具有自動化軟件,允許使用電阻率測繪mapping系統(tǒng)進(jìn)行半自動化或全自動化測試。該軟件設(shè)計簡單但功能強(qiáng)大，允許用戶輕松設(shè)置幾乎任何類型晶圓結(jié)構(gòu)的自動測試程序?；贚abView的軟件具有邏輯結(jié)構(gòu)，可以方便地集成客戶自己的測試和測量設(shè)備。該軟件可以安裝在任何具有Windows XP或更高操作系統(tǒng)的計算機(jī)上。
自動四探針電阻率mapping測試系統(tǒng)特色
用戶友好,快速而精確測量
軟件設(shè)計操作簡單，具有多種數(shù)據(jù)處理功能，可實(shí)現(xiàn)2D和3D電阻率mapping
適合大部分材料和結(jié)構(gòu)測試
適合電阻率范圍大,適合sheet resistance測量
適合溫度范圍-60℃到300℃
可選購1-，5-，9-，25-，49-,121-等多點(diǎn)探針測試型號，也可根據(jù)客戶要求訂制
可調(diào)真空樣品卡盤,適合樣品尺寸5mm~300mm
可定制真空或環(huán)境控制版本
自動四探針電阻率mapping測試系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
適合樣品尺寸：5mm ~300mm
電阻測量范圍：1 mΩ/sq. ~ 500MΩ/sq.
精度：0.3%
測量時間：5秒/點(diǎn)
XYZ分辨率：<1.5um
真空樣品夾盤：多區(qū)真空
夾盤平整度：+/-13um
夾盤擊穿電壓：500V
夾盤隔離度：>1GW
溫度范圍：-60℃~300℃
數(shù)據(jù)輸出：電阻率和電阻值，或者厚度
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
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