目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>激光微納加工系統(tǒng)>>紫外曝光機(jī)>> FPKLOE-UV-KUB9紫外曝光固化機(jī)
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更新時(shí)間：2024-04-02 09:07:38瀏覽次數(shù)：962評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),電子,航天 |
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這款大面積紫外曝光固化機(jī)是采用紫外LED冷光源的LED紫外曝光機(jī)和LED紫外固化機(jī)，是一種冷光源LED紫外固化裝置，它提供標(biāo)準(zhǔn)的365nm紫外線，廣泛用于光刻膠紫外曝光固化,合晶圓鍵合 wafer bonding,臨時(shí)鍵合temproary bonding,切割藍(lán)膜,切割膠帶,切割藍(lán)膜 DICING TAPE的固化應(yīng)用。
大面積紫外曝光固化機(jī)是*單色紫外發(fā)射，具有35mW/cm^2的功率密度，在9英寸的面積上光源均勻度搞到+/-10%, 是理想的高精度紫外曝光機(jī)。
這套大面積紫外曝光固化機(jī)采用了的LED光源技術(shù)，*實(shí)現(xiàn)單波長(zhǎng)紫外冷光源照明，有效消除熱效應(yīng)，非常適合實(shí)驗(yàn)室或超凈間的紫外曝光使用。
大面積紫外曝光固化機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊，方便移動(dòng)，采用觸摸屏控制操作，*有效安全控制紫外曝光室。
的LED紫外光源壽命高達(dá)1萬小時(shí)，非?？煽慷陀?，*，非常方便使用。
大面積紫外曝光固化機(jī)特點(diǎn)
兼容4寸，6寸，8寸晶圓
兼容9寸’’(8''晶圓）和7寸（6‘‘晶圓）框架
非常緊湊，桌上使用設(shè)計(jì)
*的紫外單色LED冷光源，更高固化效率
zui大工作面積為9英寸晶圓
適合所有光刻膠
無需預(yù)熱，直接開機(jī)使用
實(shí)時(shí)溫度控制功能確保均勻曝光
紫外照明功率強(qiáng)度可調(diào)
可單次曝光或連續(xù)曝光
適合光學(xué)，生物科技，微電子，晶圓鍵合，固化，細(xì)胞培養(yǎng)等多種應(yīng)用
大面積紫外曝光固化機(jī)參數(shù)
波長(zhǎng)：365nm +/-5nm
功率密度：145mW/cm^2
曝光過程中襯底溫度上升：<2攝氏度
曝光時(shí)間：1秒到1小時(shí)
可編程控制循環(huán)：10個(gè)
外部尺寸：350x 350x350mm
重量：22kg
彩色觸摸屏：5.7英寸
供電要求：230V
用電功耗：800W
切割藍(lán)膜曝光時(shí)間：ADWILL D650：15秒, ADWILL D175 P370:45秒
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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