鵬宸電氣空壓機用擴散硅壓力變送器

擴散硅壓力變送器選用高精度、高穩(wěn)定性壓力傳感器組件，經(jīng)過高可靠性的放大電路及精密溫度補償，將被測介質(zhì)的絕壓或表壓轉(zhuǎn)換成4~20mA，0~5VDC，0~10VDC及1~5VDC等標準電信號。高質(zhì)量的傳感器、全密封焊接的封裝技術以及完善的裝配工藝確保了該產(chǎn)品的優(yōu)異質(zhì)量和非常佳性能。該產(chǎn)品有多種接口形式和多種引線方式，能夠非常大限度的滿足客戶的需要，適用于與各種測量控制設備配套使用。

全密封焊接結(jié)構(gòu) 防雷擊 防射頻干擾

小體積 高穩(wěn)定性 高靈敏度

多種量程選擇 用戶方便調(diào)試

采用進口擴散硅傳感器 抗擾強

長期穩(wěn)定性好 高精度 全不銹鋼結(jié)構(gòu)

316不銹鋼隔離膜片構(gòu)

作為四種傳感器芯體的其中之一的擴散硅芯體已經(jīng)越來越廣泛的應用到壓力傳感器生產(chǎn)運用中，所以有必要了解其工作原理及使用中該注意的一些事項，下面作個簡單說明：

一、 一般介紹：

硅單晶材料在受到外力作用產(chǎn)生極微小應變時（一般步于400微應變），其內(nèi)部原子結(jié)構(gòu)的電子能級狀態(tài)會發(fā)生變化，從而導致其電阻率劇烈變化（G因子突變）。用此材料制成的電阻也就出現(xiàn)大變化，這種物理效應稱為壓阻效應。利用壓阻效應原理，采用集成工藝技術經(jīng)過摻雜、擴散，沿單晶硅片上的特點晶向，制成應變電阻，構(gòu)成惠斯凳電橋，利用硅材料的彈性力學特性，在同一切硅材料上進行各向異性微加工，就制成了一個集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測于一體的擴散硅傳感器。給傳感器匹配一放大電路及相關部件，使之輸出一個標準信號，就組成了一臺完整的壓力變送器。

二、 技術特點：

1、 靈敏度高

擴散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應變片高50~80倍，它的滿量程信號輸出在80-100mv左右。對接囗電路適配性好，應用成本相應較低。由于它輸入激勵電壓低，輸出信號大，且無機械動件損耗，因而分辯率*。

3、 可靠性高

擴散硅敏感膜片的彈性形變量在微應變數(shù)量級，膜片z大位移量在來微米數(shù)量級，且無機械磨損，無疲勞，無老化。平均*時間長，性能穩(wěn)定，可靠性高。

2、 精度高

擴散硅壓力傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測三位一體，無機械動件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，所以不重復性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好萊塢，形變小，因而傳感器的線性也非常好。因此綜合表態(tài)精度很高。

4、頻響高

由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高，一般在50KC。制造過程采用了集成工藝，膜片的有效面積可以很小，配以剛性結(jié)構(gòu)前置安裝特殊設計，使傳感器頻率響應很高，使用帶寬可達零頻至100千赫茲。

6、 抗電擊穿性能好

由于采用了特殊材料和裝配工藝，擴散硅傳感器不但可以做到130℃正常使用，在強磁

場、高電壓擊穿試驗中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊壓力變送器。

5、 度性能好

隨著集成工藝技術進步，擴散硅敏感膜的四個電阻一致性得到進一步提高，原始的手工

補償已被激光調(diào)阻、計算機自動休整技術所替代，傳感器的零位和靈敏度溫度系數(shù)已達10-5

/℃數(shù)量級，工作溫度也大幅度提高。

7、 耐腐蝕性好

由于擴散硅材料本身優(yōu)良的化學防腐性能好，即使傳感器受壓面不隔離，出能在普通使

用中適應各種介質(zhì)。硅材料又與硅油有良好的兼容性，使它在采用防腐材料隔離時結(jié)構(gòu)工藝更易于實現(xiàn)。加之它的低電壓、低電流、低功耗、低成本和本質(zhì)安全防爆的特點，可替代諸多同類型的同功能產(chǎn)品

鵬宸電氣空壓機用擴散硅壓力變送器

三、 選項型提要

1、 傳感器、變送器的選擇

用戶根據(jù)自己所測壓力的性質(zhì)，首先應確定選擇表壓（相對于當?shù)卮髿鈮海?、差壓、壓力或負壓品種。如果測量液位，還要確定液位上方是自由大氣壓還是密封容器壓力。如果測量密封承壓容器內(nèi)的液位就應該選用差壓產(chǎn)品。

2、 產(chǎn)品量程的確定

從產(chǎn)品安全考慮，一般選擇使工作壓力值在標準量程值的60%-80%為宜，整個測

量系統(tǒng)中可能出現(xiàn)的異常情況所導致的過載壓力不得超過產(chǎn)品允許的z大過載。測量動態(tài)管路液體壓力時，還應考慮水垂效應，適當增大產(chǎn)品載量，亦可向我所進行技術咨詢。

3、 產(chǎn)品精度選擇

產(chǎn)品等級按多項參數(shù)分檔，檔級越高，價格越貴。用戶可依據(jù)所檢測工況要求各項和某

單項參數(shù)精度指標，以便用較低的價格實現(xiàn)較高的精度要求。產(chǎn)品給出的三項精度指標是采用z小二乘法或端基平移法計算的。選用傳感器時。精度等級確定應根據(jù)測量系統(tǒng)分配發(fā)給傳感器的z大誤差選項取。有時還應考慮零位時漂、零位和滿度溫度系數(shù)帶入的附加誤差。

5、 差壓傳感器、變送器的選擇

通用差壓傳感器、變送器通常使用在高壓端壓力高于低壓端壓力的正差壓情況下，雖然擴散硅傳感器都可同樣用于負差壓，一般兩引壓端基本對稱，但負壓端一般不另標定，如用戶要求兩引壓端高對稱性，需特別告知。低壓端在系統(tǒng)中有可能出現(xiàn)的超負量程使用，此時需與我公司協(xié)商。

6、頻響特性

擴散硅傳感器固有頻率相對于其它產(chǎn)品較高，除此之外更多的情況是傳感器結(jié)構(gòu)的引壓腔結(jié)構(gòu)參數(shù)影響和傳感器結(jié)構(gòu)基體剛體的尺寸影響，后者不可能不限長，故主要還是引壓腔影響，用戶定貨時可與我公司協(xié)商解決。

7、與被測介質(zhì)的匹配

傳感器、變送器接囗和電子殼體由多種不同的結(jié)構(gòu)材料生產(chǎn)。具有不同的介質(zhì)兼容性，

為了獲得*的使用效果，不致因介質(zhì)不匹配而使產(chǎn)品損壞，用戶在選型定貨時應明白介質(zhì)的準確名稱、濃度、溫度。

4、 選擇產(chǎn)品的使用溫度范圍

產(chǎn)品在出廠前已經(jīng)過線性溫度補償。其中有些系列的變送器在組裝了電路后又進行了綜合溫度補償。補償范圍在單項產(chǎn)品介紹中已標出。如用戶有特殊要求，可與我公司協(xié)商。對于使用溫度范圍寬而又要求總精度高的用戶，還可在二次儀表數(shù)據(jù)處理中采用軟件執(zhí)行溫度誤差修正。超過補償區(qū)使用，溫度系數(shù)指標可能會超標，但仍可使用。長期在溫度極限區(qū)工作，產(chǎn)品壽命將大大縮短。用戶使用工況如長期在低溫或超指標高溫區(qū)工作?？膳c我公司協(xié)商特制。