干涉儀 :根據(jù)光的干涉原理制成的種儀器。將來自個(gè)光源的兩個(gè)光束分并,各自經(jīng)過不同的光程,然后再經(jīng)過合并,可顯出干涉條紋。在光譜學(xué)中,應(yīng)用的邁克爾遜干涉儀可以準(zhǔn)確而詳細(xì)地測定譜線的波長及其細(xì)結(jié)構(gòu)。
維護(hù)
1、儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi),防止振動(dòng),儀器搬動(dòng) 時(shí),應(yīng)托住底座,以防導(dǎo)軌變形。
2、光學(xué)零件不用時(shí),應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi),以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡般不允許擦拭,擦拭時(shí),須用備件毛刷小心撣去灰塵,再用脫脂清潔棉花滴上酒和混合液輕拭。
3、傳動(dòng)件應(yīng)有良好的潤滑。別是導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔分,應(yīng)用T5儀表油潤滑。
4、使用時(shí),各調(diào)整位用力要適當(dāng),不要強(qiáng)旋、硬扳。
5、導(dǎo)軌面絲桿應(yīng)防止劃傷、銹蝕,用畢后,仍保持不失油狀態(tài)。
6、 經(jīng)過調(diào)整的儀器件上的螺絲,都涂有紅漆,不要擅自轉(zhuǎn)動(dòng)。
應(yīng)用
(1)幾何度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。
(2)位置度的檢測及其自動(dòng)補(bǔ)償 可檢測數(shù)控機(jī)床定位度、重復(fù)定位度、微量位移度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動(dòng)測量機(jī)器的誤差,而且還能通過RS232接口自動(dòng)對其線性誤差行補(bǔ)償,比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間,并且避免了手計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時(shí)可zui大限度地選用被測軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù),使機(jī)床達(dá)到*度,另外操作者具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識。
目前,可供選擇的補(bǔ)償軟件有Fanuc,Siemens 800系列,UNM,Mazak,Mitsubishi,Cincinnati Acramatic,Heidenhain, Bosch, Allen-Bradley。
(3)數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)分度度的檢測及其自動(dòng)補(bǔ)償 現(xiàn)在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺(tái)基準(zhǔn)還能行回轉(zhuǎn)軸的自動(dòng)測量。它可對意角度位置,以意角度間隔行自動(dòng)測量,其度達(dá)±1。新的際標(biāo)準(zhǔn)已使用該項(xiàng)新。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測量時(shí)間,而且還得到整的回轉(zhuǎn)軸度曲線,知曉其度的每細(xì)節(jié),并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。
(4)雙軸定位度的檢測及其自動(dòng)補(bǔ)償 雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動(dòng)式數(shù)控機(jī)床,由雙伺服驅(qū)動(dòng)某軸向運(yùn)動(dòng)的定位度,而且還能通過RS232接口,自動(dòng)對兩軸線性誤差分別行補(bǔ)償。
(5)數(shù)控機(jī)床動(dòng)態(tài)性能檢測 利用RENISHAW動(dòng)態(tài)性測量與評估軟件,可用激光干涉儀行機(jī)床振動(dòng)測試與分析(FFT),滾珠絲杠的動(dòng)態(tài)性分析,伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)性分析,導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)性(低速爬行)分析等