EMS500 離子濺射鍍膜儀(通用儀器)
- 公司名稱 海德創(chuàng)業(yè)(北京)生物科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) EMS500
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2017/5/17 15:45:11
- 訪問(wèn)次數(shù) 2705
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離子濺射鍍膜儀(通用儀器)簡(jiǎn)介:
什么是離子濺射鍍膜?
在陽(yáng)極與陰極之間使用合適的氣體(常用的是氬氣)和電壓,當(dāng)出現(xiàn)輝光放電時(shí),陰極材料在氣體離子的轟擊下將侵蝕目標(biāo)材料,這個(gè)過(guò)程就叫離子濺射。其結(jié)果是濺射出來(lái)的原子(陰極材料)將在樣本(通常樣本固定于陽(yáng)極上)表面形成一層薄膜,均勻分布在樣本的表面。
陰極材料通常使用金,習(xí)慣稱之為金靶。
EMS550離子濺射鍍膜儀(通用儀器)
EMS 550具有旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),可傾斜,適合各種樣品。參數(shù)可預(yù)設(shè),全自動(dòng)控制保證獲得準(zhǔn)確的鍍層厚度。 低電壓濺射、冷濺射、超細(xì)顆粒等功能的使用,大大提高了工作效率。腔室直徑為165 mm(6英寸),非常方便裝載及移走樣品。 儀器裝有60mm直徑、0.1mm厚的金靶(可選)??蛇x靶材包括金/鈀,鉑/鈀和鉑。 各種功能都集中設(shè)計(jì)在儀表板上,使用方便,滿足不同學(xué)科的用戶使用要求。 濺射參數(shù)可預(yù)設(shè),包括氣體放氣針閥(此閥為電磁閥),一旦設(shè)置,就不需要再調(diào)節(jié)。濺射頭互鎖,系統(tǒng)可選配EMS250鍍碳附件。
本儀器為全自動(dòng)操作,可控制獨(dú)立的真空泵。
性能特征 2、旋轉(zhuǎn)且可傾斜樣品臺(tái) 3、全自動(dòng)控制 4、低耗冷卻系統(tǒng),無(wú)需冷卻樣本及樣品臺(tái) 5、低壓濺射 6、高質(zhì)量鍍層厚度(2nm 金膜). 7、可重復(fù)性能 8、均勻沉積厚度(20nm或20埃) 9、微電子控制 10、聚碳酸脂安全殼體 | ||||||||||||
性能參數(shù): 定購(gòu)說(shuō)明:
注:EMS500為EMS550的的手動(dòng)型號(hào)(無(wú)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)),其它參數(shù)均同。 |