B1500A B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀
- 公司名稱 深圳市東測科技有限公司
- 品牌
- 型號 B1500A
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時(shí)間 2015/7/3 12:01:02
- 訪問次數(shù) 2012
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B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀
主要特性與技術(shù)指標(biāo)
一般特性
- 基于 PC 的儀器,具有 Windows ® XP Professional 操作系統(tǒng)
- 針對電流-電壓(IV)、電容-電壓(CV)、脈沖生成、快速 IV和時(shí)域測量的綜合解決方案。
- 用于電源監(jiān)測單元(SMU)和其他模塊類型(MFCMU、HV-SPGU 和 WGFMU)的 10 個(gè)模塊插槽
- 通過 Desktop EasyEXPERT 軟件進(jìn)行離線數(shù)據(jù)分析和應(yīng)用測試開發(fā)
測量能力
- 支持 0.1fA 和 0.5µV 電流-電壓(IV)測量
- 支持準(zhǔn)靜態(tài)和中頻電容-電壓(CV)測量
- 支持精確的快速 IV 和時(shí)域測量,適用于各種應(yīng)用,例如脈沖 IV、NBTI 和 RTS 噪聲(RTN)測量。
- 支持用于大功率和存儲(chǔ)器測試的高電壓脈沖生成(高達(dá) ±40 V)功能。
描述
總結(jié)
Agilent B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀是一款具有 10 插槽配置的模塊化儀器,可支持 IV 和 CV 測量及快速高電壓脈沖測量。它采用常見的 Microsoft ® Windows ® 用戶界面,可支持 Agilent EasyEXPERT 軟件。該軟件為器件表征提供更直觀的、面向任務(wù)的新方法。Agilent B1500A 具有的低電流、低電壓和集成電容測量能力,因此可滿足廣泛的半導(dǎo)體器件表征需求(IC-CAP 支持 B1500A)。它還是一款用于非易失存儲(chǔ)單元表征和高速器件表征(包括* NBTI 和 RTS 噪聲(RTN)測量)的出色解決方案。
B1500A 目前具有 7 種模塊。請參見本頁底部的模塊選型表。
應(yīng)用主題
現(xiàn)已提供有關(guān)太陽能電池表征的新應(yīng)用指南和示例程序。請?jiān)L問 “用于太陽能電池測試的精密 SMU 產(chǎn)品”頁面。
模塊信息
- B1500A 支持 3 類 SMU 和 ASU,以執(zhí)行超精密測量。有關(guān) SMU 的更多信息,請參見本頁的模塊選型指南。
- B1525A(HV-SPGU:高電壓――半導(dǎo)體脈沖發(fā)生器單元)模塊可提高閃存測試的吞吐量。 B1525A 演示網(wǎng)頁提供在線演示視頻。
- B1530A(WGFMU:波形發(fā)生器和快速測量單元)模塊可幫助您執(zhí)行以前無法進(jìn)行的關(guān)鍵脈沖測量。更多信息,請?jiān)L問 B1530A 產(chǎn)品頁面。
相關(guān)鏈接
- B1500A 提供各種脈沖解決方案。的安捷倫選型指南可幫助您選擇您應(yīng)用的解決方案。更多信息,請?jiān)L問 安捷倫脈沖 IV 參數(shù)測試解決方案頁面。 安捷倫脈沖 IV 參數(shù)測試解決方案頁面。
- EasyEXPERT 和 Desktop EasyEXPERT 不但可以幫助您提高測量效率,而且還可提供易于使用的測試環(huán)境。更多信息,請?jiān)L問 EasyEXPERT 頁面。 EasyEXPERT 頁面。
- 安捷倫低泄漏開關(guān)矩陣系列能夠靈活地生成自動(dòng)化測量解決方案,而不會(huì)影響測量性能。更多信息,請?jiān)L問 開關(guān)矩陣系列頁面。 開關(guān)矩陣系列頁面。
特性和優(yōu)勢
- 優(yōu)異的 IV 測量性能:0.1 fA / 0.5 µV 測量分辨率
- 測量特性包括單通道和多通道掃描、時(shí)間采樣、列表掃描、準(zhǔn)靜態(tài) CV(使用 SMU)、直接控制和針對 HV-SPGU 的任意線性波形生成(ALWG)GUI。 - 可選的集成電容模塊支持高達(dá) 5 MHz 的 CV 測量
- 基于定位器的可選 CV-IV 開關(guān)解決方案提供 0.5 µV 的電壓測量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1 fA 的電流測量分辨率能力
- 使用內(nèi)置半自動(dòng)晶圓探頭驅(qū)動(dòng)程序可輕松自動(dòng)完成測試;在快速測試模式下,用戶無需編程即可排列測試順序
- 可選的高電壓半導(dǎo)體脈沖發(fā)生器單元(HV-SPGU)具有 10 ns 的可編程脈沖寬度和 +/- 40 V(80 V 峰峰值)輸出
- 可選的波形發(fā)生器/快速測量單元(WGFMU)提供 ALWG 和快速電流或電壓測量能力
- 10 ns 脈沖 IV 解決方案,用于表征高 k 柵極電介質(zhì)和 SOI(絕緣硅)晶體管
- 典型測試模式可提供 4155/4156 界面的外觀、風(fēng)格和術(shù)語,同時(shí)通過充分利用 Microsoft ® Windows ® GUI 特性可加強(qiáng)用戶交互
模塊選型指南
模塊 | 所需插槽數(shù) | 主要技術(shù)指標(biāo) |
---|---|---|
B1510A HPSMU | 2 | 高達(dá) 200 V、1 A,10 fA 電流分辨率 |
B1511A MPSMU | 1 | 高達(dá) 100 V、100 mA,10 fA 電流分辨率 |
B1517A HRSMU | 1 | 高達(dá) 100 V、100 mA,1 fA 電流分辨率 |
E5288A ASU | 無 | 高達(dá) 100 V、100 mA,100 aA 當(dāng)前分辨率 |
B1520A MFCMU | 1 | 1 kHz 至 5 MHz,高達(dá) 100 V 直流偏置,具有 SMU |
B1525A HV-SPGU | 1 | zui小 25 ns 脈沖寬度,10 ns 跳變時(shí)間、高達(dá) 40 V 和 3 級脈沖 |
B1530A WGFMU | 1 | zui小 50 ns 脈沖寬度、10 V 峰峰值輸出、5 ns 電流或大于測量采樣速率 |