ESMFM-610 皂膜氣體流量標(biāo)準(zhǔn)裝置，采用高靈敏度紅外光電管采樣、精密電路控制、微電腦處理、觸摸屏操控及顯示、多通道測(cè)量，顯示直觀、操控方便、數(shù)據(jù)準(zhǔn)確、測(cè)量范圍大并可保存多達(dá)10W 條以上黑歷史測(cè)量數(shù)據(jù)。該儀器廣泛用于小氣體流量的測(cè)量及泄漏率的檢測(cè)。高配置款內(nèi)置4 路高精度、高控制穩(wěn)定性的氣體質(zhì)量流量控制器（MFC），為測(cè)量提供高精度、高穩(wěn)定性的氣體輸出，使測(cè)量更加精度、便捷。

l 多通道測(cè)量，可根據(jù)不同的測(cè)量量程選擇適合的測(cè)量通道，大大提高氣體流量的測(cè)量范圍及測(cè)量精度，測(cè)量通道切換簡(jiǎn)便。

l 采樣準(zhǔn)確：采用高速、高靈敏度紅外傳感器采樣，高運(yùn)算能力芯片控制計(jì)時(shí)，使采樣時(shí)間準(zhǔn)確，從而避免因人工讀數(shù)造成的誤差，大大提高儀器的整機(jī)精度

l 實(shí)時(shí)溫度、壓力測(cè)量及轉(zhuǎn)換：高精度的溫度及壓力傳感器，實(shí)時(shí)、準(zhǔn)確的對(duì)待測(cè)氣體進(jìn)行溫度和壓力的測(cè)量，將測(cè)量的工況流量同步計(jì)算轉(zhuǎn)換成需要的標(biāo)況流量值 。

l 智能處理及控制：自動(dòng)識(shí)別測(cè)量通道，各通道獨(dú)立顯示標(biāo)況流量值，標(biāo)況溫度可選；自動(dòng)統(tǒng)計(jì)處理及記錄測(cè)量數(shù)據(jù)（平均值，RSD）

l 內(nèi)置 4 路MFC氣體質(zhì)量流量控制器，為高精度的氣體流量測(cè)量控制穩(wěn)定的氣流，使測(cè)量更精度、便捷。  

l 大屏幕顯示，操作簡(jiǎn)潔便捷。

應(yīng)用場(chǎng)景                                                        

? 氣體采樣器流量校正

? 煙道監(jiān)測(cè)儀器流量校正

? 實(shí)驗(yàn)室分析儀器載氣流量校正

? 測(cè)試儀器氣體流量校正

? 氣體流量測(cè)量計(jì)校正

? 工件泄漏率檢測(cè)

主要性能及參數(shù)

l 測(cè)量流量范圍：

通道一：0.05~30 mL/min

通道二：20~1000 mL/min

通道三：600~6000mL/min

l 測(cè)量流量精度等級(jí)：0.5 級(jí)

l 4路質(zhì)量流量控制器范圍及精度：

氣路 1：量程50sccm，精度：0.01sccm  

氣路 2：量程300sccm，精度：0.1sccm

氣路 3：量程1000sccm，精度：0.1sccm

氣路 4：量程6000sccm，精度：1sccm

l 環(huán)境溫度：5~45℃

l 相對(duì)濕度：85%

l 供電電源：220VAC

l 適用環(huán)境：非防爆場(chǎng)所