臺式光刻機
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/11/7 18:46:31
- 訪問次數(shù) 124
產(chǎn)品標簽
聯(lián)系方式:陸燕13584134215 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
臺式光刻機參數(shù):
1.最大曝光面積:160mm*160mm
?、?曝光分辨率:1u m(膠厚≤0.5um的正膠)
3.對準精度:± 1um(標準晶圓拋光片)
4.光源強度:35mW/cm2
5.曝光波長:LED光源(進口燈珠,壽命>1萬小時)
6.曝光方式:定時(倒計時方式)
7.掩模樣片相對運動范圍:X:優(yōu)于±5mm;
8.Y:優(yōu)于±5mm;0:優(yōu)于±6°
9.掩模尺寸:7英寸,樣片規(guī)格:6英寸(晶圓片)
10.數(shù)字設(shè)定對準間隙和曝光間隙
11.掩模樣片分離間隙:6 =O-500um連續(xù)可調(diào)
12.對準方式:自動對準,可根據(jù)客戶需求,增加對準標記的類型,累計不超過4組
13.自動輸片:機械手自動輸片(專用樣片機械手臂及片叉),含預(yù)對準定位功能
14.顯微掃描范圍:Y:± 40mm(數(shù)字設(shè)定)
15.具備正壓氣浮曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能CCD+遠心鏡頭+顯示器對準,光學(xué)合像
16.調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
17.雙物鏡可調(diào)距離范圍:30mm-130mm