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          美國Mattson 光刻膠干式剝離設(shè)備 Suprema ®XP

          參考價(jià) 350000
          訂貨量 ≥1
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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          本公司主要從事半導(dǎo)體進(jìn)口設(shè)備及輔助材料、醫(yī)療檢測設(shè)備等多領(lǐng)域的銷售,是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的企業(yè)。我們的主營業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷售及加工材料及周邊產(chǎn)品;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷售,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷售;國內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進(jìn)出口;醫(yī)療器械研發(fā)及銷售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等

          光刻膠干式剝離設(shè)備Suprema ®XP



          Dry Strip是指晶圓片上的掩模層在圖案加工完成后被除去。目的是盡可能快地晶圓片上的遮蔽材料,而不讓任何表面材料受損。

          SUPREMA®XP

          SUPREMA XP是麥特森科技 的光刻膠條系統(tǒng),在表面清潔、表面處理和表面改性方面為業(yè)界提供了的解決方案。SUPREMA XP采用多模塊、基于真空傳輸?shù)母咄掏铝科脚_,融合了的流程性能和低成本的所有權(quán)。

          產(chǎn)品特點(diǎn):

          ·具有專有法拉第屏蔽設(shè)計(jì)的遠(yuǎn)端電感耦合等離子體(ICP)源

          ·離子過濾能力

          ·還原化學(xué)能力

          ·高濃度 化學(xué)能力

          ·的晶片溫度控制(20°C - 300°C)

          ·全頻譜端點(diǎn)傳感器選項(xiàng)

          ·單頭控制雙晶圓片加工

          ·獨(dú)立的真空鎖緊和傳輸模塊

          高速,quad-arm機(jī)器人


          亮點(diǎn):

          ·技術(shù)

          .帶有設(shè)備損壞的純自由基過程

          .優(yōu)異的化學(xué)靈活性,適用于新應(yīng)用領(lǐng)域

          .的粒子性能

          .工藝能力體現(xiàn)在
          ·行業(yè)基準(zhǔn)

          高的代

          產(chǎn)品系列在安裝了500多個(gè)平臺

          大約有10000個(gè)ICP源在外地作業(yè)

          生產(chǎn)證明了高生產(chǎn)率和低成本的所有權(quán)

          應(yīng)用程序:

          ·FEOL / MEOL / BEOL

          .大部分地帶

          .Post-Implant地帶


          蝕刻后清洗/處理

          表面處理(H2, O2, CF4)

          高寬比值結(jié)構(gòu)減垢

          帶在金屬

          金屬表面清潔/處理

          表面損傷修復(fù)

          Tri-Layer返工

          ·CIS / MEMS

          大部分地帶

          預(yù)處理

          Tri-Layer返工



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