美國Mattson 光刻膠干式剝離設(shè)備 Suprema ®XP
參考價(jià) | ¥ 350000 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 深圳市科時(shí)達(dá)電子科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/11/4 17:32:27
- 訪問次數(shù) 38
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本公司主要從事半導(dǎo)體進(jìn)口設(shè)備及輔助材料、醫(yī)療檢測設(shè)備等多領(lǐng)域的銷售,是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的企業(yè)。我們的主營業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷售及加工材料及周邊產(chǎn)品;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷售,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷售;國內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進(jìn)出口;醫(yī)療器械研發(fā)及銷售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等
光刻膠干式剝離設(shè)備Suprema ®XP
Dry Strip是指晶圓片上的掩模層在圖案加工完成后被除去。目的是盡可能快地晶圓片上的遮蔽材料,而不讓任何表面材料受損。
SUPREMA®XP
SUPREMA XP是麥特森科技 的光刻膠條系統(tǒng),在表面清潔、表面處理和表面改性方面為業(yè)界提供了的解決方案。SUPREMA XP采用多模塊、基于真空傳輸?shù)母咄掏铝科脚_,融合了的流程性能和低成本的所有權(quán)。
產(chǎn)品特點(diǎn):
·具有專有法拉第屏蔽設(shè)計(jì)的遠(yuǎn)端電感耦合等離子體(ICP)源
·離子過濾能力
·還原化學(xué)能力
·高濃度 化學(xué)能力
·的晶片溫度控制(20°C - 300°C)
·全頻譜端點(diǎn)傳感器選項(xiàng)
·單頭控制雙晶圓片加工
·獨(dú)立的真空鎖緊和傳輸模塊
高速,quad-arm機(jī)器人
亮點(diǎn):
·技術(shù)
.帶有設(shè)備損壞的純自由基過程
.優(yōu)異的化學(xué)靈活性,適用于新應(yīng)用領(lǐng)域
.的粒子性能
.工藝能力體現(xiàn)在
·行業(yè)基準(zhǔn)
高的代
產(chǎn)品系列在安裝了500多個(gè)平臺
大約有10000個(gè)ICP源在外地作業(yè)
生產(chǎn)證明了高生產(chǎn)率和低成本的所有權(quán)
應(yīng)用程序:
·FEOL / MEOL / BEOL
.大部分地帶
.Post-Implant地帶
蝕刻后清洗/處理
表面處理(H2, O2, CF4)
高寬比值結(jié)構(gòu)減垢
帶在金屬
金屬表面清潔/處理
表面損傷修復(fù)
Tri-Layer返工
·CIS / MEMS
大部分地帶
預(yù)處理
Tri-Layer返工
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