Ingot XRD - 晶錠X射線定向儀

產(chǎn)品特點(diǎn)

晶錠XRD有著優(yōu)良的XRD系統(tǒng)，用于單晶晶錠的自動(dòng)定向、傾斜和對(duì)準(zhǔn)研磨。SiC | Si| AlN | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹：

主要里程碑：        

◆  1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團(tuán)亞瑟·布拉達(dá)切克和他的兒子漢斯·布拉達(dá)切克創(chuàng)立。

◆  1969 - 研制了世界上基于集成電路的x射線檢測(cè)計(jì)數(shù)裝置，名為 COUNTIX 130。

◆  1989 - 開發(fā) Omega-Scan 方法

BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測(cè)量系統(tǒng) -    振蕩器產(chǎn)量從 50% 提高到 95%

◆  2005 - 將 Omega 轉(zhuǎn)移到其他材料，如SiC、藍(lán)寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金

◆  2010 - 推出用于晶體取向測(cè)量的臺(tái)式 X 射線衍射儀 ( DDCOM ) 

全 球售出 約 150臺(tái)石英分選系統(tǒng)

◆  2015 - X 射線技術(shù)和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH        

晶錠XRD的特點(diǎn)：        

◇   精度高        

◇   測(cè)量速度快： < 5秒/樣品        

◇   典型的標(biāo)準(zhǔn)偏差傾斜度（例如：Si 100）：< 0.003 °，極小< 0.001 °。        

◇   晶錠的自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)        

◇   膠片的自動(dòng)定位        

◇   光學(xué)測(cè)量晶錠和/或研磨原錠的幾何特征（平邊Flat、凹槽Notch位置）        

◇   晶錠的自動(dòng)標(biāo)記        

◇   易于集成到工藝線中（手動(dòng)或機(jī)器人裝載）。        

◇   數(shù)據(jù)矩陣代碼（DMC）閱讀器        

◇   MES接口；SECS/GEM或類似接口        

◇   直徑達(dá)300毫米，長度達(dá)520毫米的晶錠        

Ingot XRD prepared for manual loading    

Omega/Theta XRD - X射線晶體定向儀

產(chǎn)品特點(diǎn)

Omega/Theta XRD用于超快速的晶體定向、生產(chǎn)中的晶體排列、質(zhì)量控制、搖擺曲線測(cè)量、材料研究等。SiC | Si| AlN | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹：

Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀
     

主要里程碑：

◆  1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團(tuán)亞瑟·布拉達(dá)切克和他的兒子漢斯·布拉達(dá)切克創(chuàng)立。

◆  1969 - 研制了世界上基于集成電路的x射線檢測(cè)計(jì)數(shù)裝置，名為 COUNTIX 130。

◆  1989 - 開發(fā) Omega-Scan 方法

BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測(cè)量系統(tǒng) -    振蕩器產(chǎn)量從 50% 提高到 95%

◆  2005 - 將 Omega 轉(zhuǎn)移到其他材料，如SiC、藍(lán)寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金  

◆  2010 - 推出用于晶體取向測(cè)量的臺(tái)式 X 射線衍射儀 ( DDCOM )

全 球售出 約 150臺(tái)石英分選系統(tǒng)

◆  2015 - X 射線技術(shù)和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

◆  采用Omega-scan掃描方法

◆  測(cè)試速度快: 5s

◆  測(cè)角精度高: 0.003

◆  兼具XRD定向功能以及Flat/Norch功能

◆  磨拋定向解決方案

◆  擁有晶錠粘接轉(zhuǎn)移的技術(shù)（堆垛 stacking）專為SiC工業(yè)設(shè)計(jì)，被多家SiC襯底頭部企業(yè)青睞，如：II-VI Advanced Materials, SiCrystal等，國外四分之三的碳化硅制造商依賴Freiberg Instruments公司的晶體取向測(cè)量技術(shù)，極大提高了生產(chǎn)效率，提升產(chǎn)品質(zhì)量。

◆  Mapping 面掃功能，搖擺曲線測(cè)定

◆  易于集成到工藝線中

◆  MES和/或SECS/GEM接口

◆  傾斜的典型標(biāo)準(zhǔn)偏差（例如：Si 100）：< 0.003 °，小于< 0.001 °

Omega/Theta X射線衍射儀是一個(gè)全自動(dòng)的垂直三軸衍射儀，用于使用Omega-Scan和Theta-Scan方法對(duì)各種晶體進(jìn)行取向測(cè)定和搖擺曲線測(cè)量。大而寬敞的設(shè)計(jì)可以容納長度達(dá)450毫米、重量達(dá)30公斤的樣品和樣品架。

所有的測(cè)量都是自動(dòng)化的，可以從用戶友好的軟件界面上的訪問。使用Omega掃描，可以在晶體旋轉(zhuǎn)時(shí)（5秒）確定完整的晶格方向。Theta掃描更加靈活，但每次掃描只能得到一個(gè)取向成分。

傾斜角可以以非常高的精度確定；使用Theta掃描可以達(dá)到0.001°。對(duì)于所有其他晶體方向，精度取決于與表面垂直的角差。

該系統(tǒng)是模塊化的，已經(jīng)配備了許多不同的擴(kuò)展，用于特殊的目的，如形狀或平面的確定、繪圖和不同的樣品架。樣品的傾斜是通過光學(xué)測(cè)量檢測(cè)出來的，并可用于校正所產(chǎn)生的方向。

單晶衍射儀定向儀：

◆  全自動(dòng)完整的單晶體晶格取向測(cè)量

◆  使用歐米茄掃描法進(jìn)行超快速的晶體取向測(cè)量

◆  自動(dòng)搖動(dòng)曲線測(cè)量功能

◆  衍射儀的角度分辨率：0.1角秒。

◆  樣品尺寸可達(dá)450毫米

◆  適用于生產(chǎn)質(zhì)量控制和研究

用戶友好，成本效益高：

◆  方便的樣品處理，易于操作

◆  優(yōu)良的、用戶友好的軟件

◆  能源消耗和運(yùn)行成本低

◆  模塊化設(shè)計(jì)，靈活性強(qiáng)

◆  各種升級(jí)選項(xiàng)

◆  根據(jù)用戶的要求進(jìn)行定制

選配功能：

◆  自動(dòng)Mapping面掃功能

◆  Omega/Theta – 晶錠粘接轉(zhuǎn)移的技術(shù)（堆垛 stacking）

◆  Omega/Theta - 搖擺曲線測(cè)量

◆  Omega/Theta - 定制的樣品臺(tái)

◆  用于樣品形狀測(cè)量的激光掃描儀

◆  光學(xué)檢測(cè)，用于平面和凹槽檢測(cè)

◆  額外的樣品旋轉(zhuǎn)軸用于3D繪圖

◆  二級(jí)通道切割準(zhǔn)直器（分析器）

◆  用于樣品調(diào)整的設(shè)備