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          無損電阻率測試儀

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          公司成立于2021年,是一家注冊在蘇州、具備技術(shù)的非接觸式半導(dǎo)體檢測分析設(shè)備制造商。公司集研發(fā)、設(shè)計、制造、銷售于一體,主要攻克國外壟斷技術(shù),替代進口產(chǎn)品,使半導(dǎo)體材料測試設(shè)備國產(chǎn)化。

          主要產(chǎn)品:非接觸式無損方塊電阻測試儀、晶圓方阻測試儀、方阻測試儀、硅片電阻率測試儀、渦流法高低電阻率分析儀、晶錠電阻率分析儀、渦流法電阻率探頭和PN探頭測試儀、遷移率(霍爾)測試儀、少子壽命測試儀,晶圓、硅片厚度測試儀、表面光電壓儀JPV\SPV、汞CV、ECV。碳化硅、硅片、氮化鎵、襯底和外延廠商提供測試和解決方案。

          憑借*的技術(shù)和豐富的產(chǎn)品設(shè)計經(jīng)驗,申請各項知識產(chǎn)權(quán)20余項,已發(fā)展成為中國大陸少數(shù)具有一定國際競爭力的半導(dǎo)體專用設(shè)備提供商,產(chǎn)品得到眾多國內(nèi)外主流半導(dǎo)體廠商的認可,并取得良好的市場口碑。





          晶圓電阻率測試儀,硅片電阻率測試儀,渦流法低電阻率分析儀,晶錠電阻率分析儀,遷移率測試儀,少子壽命測試儀

          非接觸式單點薄層電阻測量系統(tǒng)。該裝置包含一個渦流傳感器組,感應(yīng)弱電流到導(dǎo)電薄膜和材料。非接觸式薄膜方塊電阻測量儀試樣中的感應(yīng)電流產(chǎn)生與測量對象的片電阻相關(guān)的電磁場。電渦流技術(shù)不依賴于表面特征或形貌。此外,非接觸式單點方阻測試儀不需要如已知的2或4點探針測試(2PP, 4PP)或霍爾效應(yīng)或范德波測量一樣進行任何形式的充分的樣品接觸或備樣。非接觸式單點方阻測試儀既不需要設(shè)置測試結(jié)構(gòu),也不受表面粗糙度或非導(dǎo)電封裝或鈍化層的影響。此外,測量不會對被測薄膜產(chǎn)生物理影響。渦流儀器不存在機械磨損,使用壽命長。它的獨立性與接觸質(zhì)量和它的高速允許實現(xiàn)高重復(fù)性和準確性,有利于在研發(fā)和測試實驗室的各種薄膜的系統(tǒng)質(zhì)量保證。



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