全新實驗室型等離子清洗機
- 公司名稱 研啟科學(xué)儀器(東莞)有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/10/22 17:05:29
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一、產(chǎn)品介紹:
CIF推出全新一代實驗室型等離子體清洗設(shè)備,傳統(tǒng)等離子體清洗設(shè)備設(shè)計理念,可中試生產(chǎn)、模擬生產(chǎn)條件,幾乎具備等離子體清洗設(shè)備所有的功能。采用頂置真空倉,上開蓋下壓式鉸鏈開關(guān)方式,上置式360度自由取放樣品托盤設(shè)計,具有較大的腔體尺寸和有效樣品處理面積,使用成本低,性價比高,處理快速高效,特別適合于大學(xué),科研院所和光電企業(yè)實驗室小批量中試生產(chǎn)。
二、產(chǎn)品特點
u 7寸彩色觸摸屏互動操作界面,圖形化用戶操作界面顯示,自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),20個配方程序,可存儲、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù),機器運行、停止提示。
u PLC工控機控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。
u 石英真空倉,真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無污染。
u 采用質(zhì)量流量計實現(xiàn)對氣體輸入精準控制,改變傳統(tǒng)浮子流量計控制氣體流量不準確問題。
u HEPA高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。
u 60度傾角操作界面設(shè)計,符合人體功能學(xué),操作方便,界面友好。
u 頂置真空倉,上開蓋設(shè)計,下壓式鉸鏈開關(guān)方式,開關(guān)蓋方便。
u 采用花灑式多孔進氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。
u 上置式360度自由水平取放樣品托盤設(shè)計,符合人體功能學(xué),操作更方便。
u 有效清洗面積大,可清洗直徑8寸硅片。
u 可處理不同幾何形狀、表面不同粗糙程度的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等樣品,進行清洗和改性。
u 安全保護,倉門打開,自動關(guān)閉電源。
三、技術(shù)參數(shù)
型號 | CPC-G | CPC-G plus | CPC-12 | CPC-12plus |
艙體尺寸 | H120xΦ270mm | H120xΦ270mm | H120xΦ370mm | H120xΦ370mm |
艙體容積 | 6.8L | 6.8L | 12.8L | 12.8L |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自動匹配 | 自動匹配 | 自動匹配 | 自動匹配 |
激發(fā)方式 | 電容式 | 電容式 | 電容式 | 電容式 |
射頻功率 | 10-300W可調(diào) | 10-150W可調(diào) | 10-600W可調(diào) | 10-300W可調(diào) |
處理尺寸 | Φ270mm 圓盤 | Φ370mm圓盤 | ||
產(chǎn)品尺寸 | L525xW425xH345mm | L618xW520xH465mm | ||
包裝尺寸 | L645xW540xH560mm | L750xW640xH570mm | ||
氣體控制 | 質(zhì)量流量計(MFC)(標配單路,可選雙路) | |||
時間設(shè)定 | 1-99分59秒 | |||
真空泵 | 抽速4-8m3/h | |||
氣體穩(wěn)定時間 | 1分鐘 | |||
真空度 | 100pa以內(nèi) | |||
電源 | AC220V 50-60Hz |