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          Circular Magnetron 美國Angstrom Sciences 圓形磁控管陰極

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          ?公司擁有自主進出口權,所有產(chǎn)品都是歐美原廠直接采購,保證原廠,給客戶提供優(yōu)惠的價格與最短的交貨期,提供完善的售前售后服務。

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          供貨周期 現(xiàn)貨 應用領域 綜合

          美國Angstrom Sciences 圓形磁控管陰極

          只要在結構中納入特定的設計標準,Angstrom Sciences 高功率射頻圓形磁控管就可以在研發(fā)和生產(chǎn)應用中成功實施。
          Angstrom Sciences 高功率射頻圓形磁控管可直接冷卻,外徑為2英寸-8英寸。

          因為射頻功率在高頻下工作,所以磁控濺射陰極的設計必須能夠控制這種功率。Angstrom Sciences的高功率射頻磁控管設計用于在目標表面均勻地傳遞射頻能量,同時提供低反射功率和射頻限制。
          高功率射頻磁控管有圓形和線性兩種配置。

          美國Angstrom Sciences 圓形磁控管陰極

          間接冷卻磁控管

          間接冷卻磁控管在圓陰極的冷卻水和濺射靶材之間包含一個中間壁。該壁形成水真空密封,防止目標被“濺射”時可能發(fā)生的泄漏。

          Angstrom Sciences 的 1“- 4” (25mm-100mm) 間接冷卻圓形磁控管包含一個螺紋靶夾和陽極屏蔽罩,可根據(jù)不同厚度的濺射靶材進行調(diào)整。螺紋設計上的目標更改既快速又簡單,不需要輔助工具或設備。

          • 描述

          此外,螺紋靶夾和陽極屏蔽層可形成一個緊湊的圓形磁控管頭。這使得 Angstrom Sciences 的圓形磁控管能夠安裝在狹窄的真空室中,并且與傳統(tǒng)磁控管的表面積相比,可以濺射更大的襯底。

          間接冷卻磁控管推薦用于低功率應用,是研究和開發(fā)應用的理想工具。





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