CGM2-051/ CGM2-052 ULVAC愛發(fā)科氣體監(jiān)測儀
參考價 | ¥ 4700 |
訂貨量 | ≥1個 |
- 公司名稱 湖南中崎科技有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛發(fā)科
- 型號 CGM2-051/ CGM2-052
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/8/23 14:48:22
- 訪問次數(shù) 399
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子,綜合 |
---|
ULVAC愛發(fā)科氣體監(jiān)測儀
特點
適用于各種濺射系統(tǒng)的工藝監(jiān)控
Air Leak監(jiān)控
殘留水分管理
無需差動排氣系統(tǒng)(less than 1 Pa at 7.5 x 10-3Torr/1 x 10-2 mbar)
內(nèi)置顯示屏:無需PC可單獨操作使用
可進行高靈敏度泄漏測試(CGM2-052)
可進行全壓測定
操作簡單-One Click功能
標配Qulee QCS軟件
支持CE標準
用途
適用于濺射設(shè)備的殘余氣體分析、工藝監(jiān)控和雜質(zhì)管理(H2O)。
用于濺射設(shè)備的泄漏測試。
ULVAC愛發(fā)科氣體監(jiān)測儀
CGM-051/CGM2-101/CGM-052/CGM2-102
規(guī)格
分解能
M/△M=1M(10% P.H.)
型號 | CGM-051 | CGM2-101 | CGM-052 | CGM2-102 |
質(zhì)量分離方式 | 四極型質(zhì)量分析儀 | |||
質(zhì)量數(shù)范圍 | 1~50 amu | 1~100 amu | 1~50 amu | 1~100 amu |
檢出器 | 法拉第杯 | 二級電子倍增管/法拉第杯 | ||
感度 | 0.1uA/Pa | 0.1mA/Pa | ||
最小檢知分圧 | 1x10-7Pa | 1x10-10Pa | ||
最大使用圧力 | 2Pa | 2Pa(FC)1x10-2Pa(SEM) | ||
線性 | 1Pa | |||
全壓力測量功能 | 有 | |||
Degas function | Electron bombard type 300V, 5mA | |||
一鍵檢漏功能 | 有 / He / H2O / N2 / O2 / Any gas | |||
電源電壓 | DC24V±10% 50W | |||
最大烘烤可能溫度 (傳感器單元連接時) | 120℃ | |||
最大烘烤可能溫度 (傳感器單元移除時) | 250℃ | |||
使用溫度范圍 | 10~40℃ | |||
接口 | Ethernet | |||
軟件 | Qulee QCS Ver.4.2以降(Windows 8/10/11)適用 | |||
符合標準 | CE |
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