NIR/EUV 波前曲率傳感器
- 公司名稱 巨力光電（北京）科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) NIR/EUV
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/8/20 10:54:33
- 訪問次數(shù) 259
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合 |
|---|
主要特點(diǎn)
波前曲率傳感器壓電驅(qū)動(dòng)微動(dòng)平臺(tái)，裝配CCD相機(jī)
光束方向快速移動(dòng)
臨近位置光束剖面/形貌分析
波前推導(dǎo)CCD像素級(jí)分辨
光束傳播參數(shù)分析（M2、瑞利長度、束腰直徑）
Zernike分析畸變控制
采用自我參考法
無光束相干要求
緊湊式設(shè)計(jì)，在線檢測
操作原理
波前曲率傳感器技術(shù)規(guī)格
CCD相機(jī)USB3.0通訊
空間分辨率<10um
多種傳感器覆蓋光譜范圍：1100nm (NIR) to 1nm (soft x‐rays)
實(shí)時(shí)波前分析
測試依據(jù)ISO標(biāo)準(zhǔn)
光束測試軟件
測試基于ISO標(biāo)準(zhǔn)
Parameter | Standard |
Beam diameter光束直徑 | ISO 11146 |
Divergence | ISO 11146 |
Beam profile光束剖面 | ISO 13694 |
Pointing 指向/ pos. Stability位置穩(wěn)定性 | ISO 11670 |
M2 質(zhì)量因子/ Focusability聚焦性 | ISO 11146 |
Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布 | ISO 15367 |
Coherence 相干 | - |
Around 20 various camera types are supported |
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