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FZ-14 區(qū)熔晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 PVA TePla
- 型號(hào) FZ-14
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/9/5 17:03:59
- 訪問(wèn)次數(shù) 177
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產(chǎn)品數(shù)據(jù)概覽:
材料:硅
晶體
晶體 1,100 mm
晶體拉動(dòng)長(zhǎng)度: 長(zhǎng)達(dá)100 mm (4″)
晶體直徑: 2.5 x 10-5 mbar
極限真空度: 0.5 bar(g)
發(fā)電機(jī)
輸出電壓: 30 kW
頻率: 2.4 MHz
上軸
進(jìn)料速度: 最高30 mm/min
上部旋轉(zhuǎn): 最高35 rpm
下軸
拉動(dòng)速度: 最高 30 mm/min
下部旋轉(zhuǎn): 最高 30 rpm
尺寸規(guī)格
高度 6,280 mm
寬度: 2,750 mm
深度: 3,000 mm
重量(總): 約 4,900 kg
區(qū)熔(FZ)技術(shù)作為提純方法為生產(chǎn)高電阻率的超純硅單晶提供了技術(shù)可行性,該技術(shù)可應(yīng)用于高性能電子和半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。其另一優(yōu)點(diǎn)是可以從氣相中連續(xù)摻入,這使得在整個(gè)晶體的電阻率沿長(zhǎng)度方向保持一致。因此,幾乎可以在整個(gè)晶體上均勻地實(shí)現(xiàn)所需的電性能。由于電荷載流子的高壽命和極低的氧含量(無(wú)坩堝工藝),FZ晶體同樣也適用于光伏行業(yè)。
區(qū)熔(FZ)技術(shù)作為提純方法與CZ直拉工藝等競(jìng)爭(zhēng)方法相比,FZ工藝的優(yōu)勢(shì)在于只有緊鄰感應(yīng)線圈的一小部分晶體需要被熔化,無(wú)需使用石英坩堝(每爐次耗用一個(gè)),可實(shí)現(xiàn)高拉速,因此降低了耗材成本的同時(shí)也降低了能源成本。此外,無(wú)論是從硅還是其他合適的材料中提取的晶體,可以通過(guò)多次處理,顯著地提高純度。