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          化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>勻膠機(jī)>WS-650-15B 勻膠機(jī)

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          WS-650-15B 勻膠機(jī)

          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          產(chǎn)品標(biāo)簽

          半導(dǎo)體前道勻膠機(jī)

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          深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

          致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

          公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

           

           

           

           

           

           

           

           

          冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

          1.產(chǎn)品概述:

          Laurell的WS-650-15B型勻膠機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊,具有先進(jìn)的功能。這款650系列系統(tǒng)將可容納高達(dá)300mm的晶圓和9英寸×9英寸(229mm×229mm)基板,大轉(zhuǎn)速為12,000RPM(基于100mm硅片)。

          2.設(shè)備原理:

          利用電機(jī)高速旋轉(zhuǎn)時(shí)所產(chǎn)生的離心力使膠液均勻地涂敷在基底材料的表面,形成一層微米或納米厚度的均勻薄膜。

          3.產(chǎn)品特色:

          650系列過程控制器采用堅(jiān)固的微處理器,并使用其隨附的PC軟件(編寫在面向?qū)ο蟮木幊陶Z(yǔ)言中),它在過程中都實(shí)現(xiàn)了高的靈活性定義和使用。該控制器允許操作員在流程執(zhí)行過程中進(jìn)行實(shí)時(shí)交互,包括暫停時(shí)間、停止和從該點(diǎn)繼續(xù)。該系統(tǒng)可以并且將通過可下載的固件修訂版在現(xiàn)場(chǎng)輕松快速地持續(xù)更新。

          650系列控制器也可以與帶有Spin3000(Laurell的過程管理軟件)的PC結(jié)合使用。使用PC增加了在運(yùn)行過程、遠(yuǎn)程操作、編程或通過LAN或Internet進(jìn)行通信時(shí)記錄過程的能力。該軟件免費(fèi)提供,使操作員能夠創(chuàng)建虛擬過程模擬,甚至超出硬件安裝的旋轉(zhuǎn)處理器的能力,實(shí)際上讓他們?cè)谶M(jìn)入過程之可以嘗試一下。所有650個(gè)系統(tǒng)都可以通過簡(jiǎn)單的插件模塊進(jìn)行升或重新使用,而無需返回工廠,無論是實(shí)際還是虛擬,并且可以包含幾乎無限數(shù)量的流程和步驟。




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