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          產(chǎn)品展廳

          產(chǎn)品求購企業(yè)資訊會展

          發(fā)布詢價(jià)單

          化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>掩模版和中間掩模版制造設(shè)備>掩模檢查設(shè)備>VPG 300 無掩模直接成像儀

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          VPG 300 無掩模直接成像儀

          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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          深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

          致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

          公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

           

           

           

           

           

           

           

           

          冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

          寫入模式第二
          寫作表現(xiàn)

          最小特征尺寸 [μm]0.50.8
          最小行數(shù)和間距 [μm]0.81.2
          地址網(wǎng)格 [nm]48
          邊緣粗糙度 [3σ, nm]3040
          CD均勻度 [3σ, nm]5060
          2層對齊(全局)[nm]100130
          寫入速度 [mm2/分鐘]340*1020*
          *快速模式:680 和 2056 mm2/min,具有相似的性能,但沒有規(guī)格

          100 x 100 mm 的曝光時(shí)間2面積 [min]3917
          系統(tǒng)特點(diǎn)

          光源355 nm 的高功率 DPSS 激光器
          最大基板尺寸和寫入面積300 x 300 毫米2
          基板厚度0 至 12 mm (可根據(jù)要求提供其他厚度)
          最大曝光面積300 x 300 毫米2
          自動對焦實(shí)時(shí)自動對焦系統(tǒng)(光學(xué)和氣動)
          自動對焦補(bǔ)償范圍高達(dá) 80 μm
          流量箱(閉環(huán))溫控環(huán)境試驗(yàn)箱
          對準(zhǔn)和計(jì)量用于測量和對準(zhǔn)的相機(jī)系統(tǒng)和軟件包
          其他功能和選項(xiàng)100、150、200 和 300 mm 晶圓的全自動處理和預(yù)對準(zhǔn)。光學(xué)邊緣檢測、頂部對準(zhǔn)以及可選的紅外和背面對準(zhǔn)。Zerodur® 載物臺和高分辨率差分干涉儀



          系統(tǒng)尺寸


          系統(tǒng) / 電子機(jī)架
          寬度 [mm]2605 / 800
          深度 [mm]1652 / 650
          高度 [mm]2102 / 1800
          重量 [kg]3550 / 180



          安裝要求

          電氣400 VAC ± 5 %, 50/60 Hz, 16 A, 3 相
          壓縮空氣6 - 10 巴







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