AnalyzeIT濕法過程分析儀 AnalyzeIT濕法過程分析儀
- 公司名稱 ABB(中國)有限公司
- 品牌
- 型號(hào) AnalyzeIT濕法過程分析儀
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/7/15 17:23:31
- 訪問次數(shù) 47
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New ClippIR+ AnalyzeIT濕法過程分析儀
ABB用于半導(dǎo)體工業(yè)中濕法過程在線、實(shí)時(shí)監(jiān)測和控制的解決方案
在半導(dǎo)體制造業(yè)中,對濕法化學(xué)過程進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測可以提高產(chǎn)量,降低故障率,使生產(chǎn)利潤
在半導(dǎo)體制造業(yè)中,為了提高企業(yè)的生產(chǎn)能力和產(chǎn)品質(zhì)量,降低生產(chǎn)成本,需要對相關(guān)的濕法過程進(jìn)行精確的控制。ABB公司的濕法過程分析儀(WPA)可以對各種刻蝕液、清洗液和去光膠液的化學(xué)濃度進(jìn)行連續(xù)的在線監(jiān)測,并為實(shí)時(shí)過程控制提供了必要的信息。
采用實(shí)時(shí)過程監(jiān)測,企業(yè)能從化學(xué)制品有效期的延長、消耗與浪費(fèi)的減少以及實(shí)驗(yàn)室測量工作的減輕等方面提高成本效益。實(shí)踐表明,將SC1、SC2等清洗液的使用壽命延長25%到30%,WPA的投資成本一般可以在一年內(nèi)收回。對于一些通用的有機(jī)化學(xué)試劑,它的成本回收期大約只有6個(gè)月左右。
WPA具有許多的技術(shù)優(yōu)勢,它能夠?qū)穹ㄟ^程中使用的30多種不同的溶液(見下頁的列表)進(jìn)行監(jiān)測。另外,ABB公司還可以根據(jù)客戶的具體要求定制專門的標(biāo)準(zhǔn)曲線。
WPA系統(tǒng)中包含的FTSW100過程控制軟件,可以實(shí)現(xiàn)分析儀與濕法過程的集成。除了能夠顯示在過程流中監(jiān)測到的各種化學(xué)成分的濃度值及其變化趨勢外,該軟件還有自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能,當(dāng)某些數(shù)值超出了許可范圍時(shí),該軟件還會(huì)發(fā)出警告或報(bào)警。當(dāng)清洗液成分不符合要求時(shí),軟件會(huì)報(bào)警通知操作人員,同時(shí)使設(shè)備自動(dòng)阻擋清洗液的流入。
非接觸式紅外檢測
WPA主機(jī)為傅立葉變換近紅外光譜儀(FT-NIR),這種光譜儀通過光纖連接到名為ClippIR+的Teflon檢測池。一次最多可以使用8個(gè)ClippIR+來同時(shí)監(jiān)測各種化學(xué)溶液。ClippIR+的創(chuàng)新設(shè)計(jì)可以使其能夠很容易地固定在現(xiàn)有管道的外表面上。穿過ClippIR+的紅外光使系統(tǒng)可以直接監(jiān)測管道內(nèi)的化學(xué)物濃度,而不會(huì)造成任何污染。
ClippIR+專為半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計(jì),能夠安裝在任何尺寸的Teflon管上。由于它體積小,因此可以安裝在很小的化學(xué)箱體之上,或者安裝在濕法設(shè)備的其它任何部件之內(nèi)。另外,它還具有抵抗化學(xué)腐蝕的能力,可以在強(qiáng)腐蝕性環(huán)境中使用。
FTPA-2000系列光譜儀可以在惡劣的工業(yè)條件下使用,它具有很小的外形尺寸(43×41×18厘米),可以安裝在離ClippIR+遠(yuǎn)達(dá)100米處。它既可以在潔凈室外作為一個(gè)獨(dú)立的裝置單獨(dú)使用,也可以集成在整個(gè)過程分析儀系統(tǒng)中使用。
FTSW100過程控制軟件中的測量屏幕將顯示各種成份的濃度值與變化趨勢:
Teflon檢測池 新型產(chǎn)品ClippIR+具有抗污染和抗化學(xué)腐蝕性能,并且不需要中斷生產(chǎn)就可以在生產(chǎn)流路中快速安裝。
多路分析 1臺(tái)WPA能夠監(jiān)測多達(dá)8種不同的過程流,對每個(gè)流路可以分析其4種配方(最多可達(dá)32個(gè)參數(shù))。
紅外(IR)分析 半導(dǎo)體紅外分析避免了在過程流中循環(huán)的溶解金屬或其它顆粒物所造成的干擾。
插入式測量 不需要引出過程支流,可通過光纖傳輸?shù)募t外線對管道中的過程流直接進(jìn)行測量。
遠(yuǎn)程監(jiān)測 WPA可以設(shè)置在離測量點(diǎn)(ClippIR+)遠(yuǎn)達(dá)100米處,如果必要,還可以將其放在室外。
特點(diǎn)
可對濕法化學(xué)過程進(jìn)行精確的、實(shí)時(shí)的在線監(jiān)測;
非接觸式測量;
快速測量 (<1分鐘,多種通訊協(xié)議);
多過程流分析(最多可達(dá)8個(gè)流路);
多組分分析(每個(gè)流路最多可達(dá)4種配方);
通過光纜實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)測,外形尺寸小;
的穩(wěn)定性與可靠性;
不需要使用試劑;
化的售后服務(wù)與技術(shù)支持。
優(yōu)勢
由于延長了清洗液使用壽命,減少了化學(xué)品消耗量,并且無離線實(shí)驗(yàn)室分析所需要的停工期,因此節(jié)約了生產(chǎn)費(fèi)用;
無化學(xué)品損耗,無污染,安裝時(shí)無需停工;
能夠?qū)崿F(xiàn)實(shí)時(shí)過程控制;
每條過程流分析成本低;
增強(qiáng)了在技術(shù)要求很嚴(yán)格的場合的過程分析性能,減少了晶片清洗的次數(shù);
靈活的安裝選擇;
無漂移,僅需少量維護(hù);
交鑰匙系統(tǒng);
迅速的服務(wù)響應(yīng)。
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