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          晶圓缺陷檢測(cè):寬場(chǎng)熒光顯微成像模組

          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 公司名稱(chēng) 北京卓立漢光儀器有限公司
          • 品牌 ZOLIX/卓立漢光
          • 型號(hào)
          • 產(chǎn)地
          • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
          • 更新時(shí)間 2024/7/10 15:23:09
          • 訪問(wèn)次數(shù) 481

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          北京卓立漢光儀器有限公司是一家集光學(xué)、精密機(jī)械、電子、計(jì)算機(jī)技術(shù)于一體的高*技術(shù)企業(yè)。卓立漢光自1999年起,通過(guò)數(shù)年的不斷努力,成長(zhǎng)為光電儀器廠商之一。目前公司的電控位移臺(tái)、手動(dòng)位移臺(tái)、光學(xué)調(diào)整架等產(chǎn)品已經(jīng)形成產(chǎn)品系列化,規(guī)格多元化,國(guó)內(nèi)多家科研單位、激光加工設(shè)備廠商、光纖設(shè)備廠商在使用我們的產(chǎn)品。2000年推出我司套量產(chǎn)型三光柵光譜儀后,不斷推出了多套熒光、拉曼、光電探測(cè)器光譜響應(yīng)、太陽(yáng)能電池檢測(cè)等光譜測(cè)量系統(tǒng),廣泛應(yīng)用在眾多高校和科研院所的研究與試驗(yàn),為國(guó)家科技創(chuàng)新貢獻(xiàn)了一份力量,產(chǎn)品憑借優(yōu)良的品質(zhì)遠(yuǎn)銷(xiāo)歐美、東南亞等海外市場(chǎng)。 2005年10月在同行業(yè)中通過(guò)ISO9001質(zhì)量管理體系SGS認(rèn)證。2010年取得國(guó)家高*技術(shù)企業(yè)認(rèn)定,2016年卓立漢光技術(shù)中心順利通過(guò)市級(jí)技術(shù)中心評(píng)審。

           

          卓立漢光主要生產(chǎn)經(jīng)營(yíng):熒光/拉曼光譜系統(tǒng)、各類(lèi)光譜測(cè)量系統(tǒng)、太陽(yáng)能電池檢測(cè)儀器、光柵光譜儀、各類(lèi)型光源及探測(cè)器、電控精密位移臺(tái)、手動(dòng)精密位移臺(tái)、光學(xué)調(diào)整架、光學(xué)平臺(tái)、光學(xué)元件等系列產(chǎn)品。


          我們誠(chéng)心聆聽(tīng)用戶(hù)的需要與批評(píng),作為不斷改進(jìn)的動(dòng)力,能讓您滿(mǎn)意卓立漢光的產(chǎn)品及服務(wù),就是我們的成就。因此我們以卓立漢光的光機(jī)產(chǎn)品提供 “終身保固”的承諾,來(lái)表達(dá)我們對(duì)產(chǎn)品的信心。


          我們堅(jiān)持從設(shè)計(jì)、零件選型、制造、裝配、檢驗(yàn)、包裝、運(yùn)輸、直到售后服務(wù)做好*質(zhì)量保證,就是要讓您 “付有所值”,以合理的價(jià)位得到優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品,這是我們對(duì)您選擇卓立漢光真誠(chéng)的回報(bào)。

          卓立漢光始終以滿(mǎn)足用戶(hù)需求為宗旨,分別于上海、深圳、成都、西安設(shè)立分公司,為用戶(hù)提供及時(shí)周到的銷(xiāo)售與技術(shù)服務(wù)。“研發(fā)創(chuàng)新、快速反應(yīng)、優(yōu)質(zhì)服務(wù)” 是我們的經(jīng)營(yíng)理念, 公司長(zhǎng)期重視優(yōu)質(zhì)高效、短時(shí)間為客戶(hù)開(kāi)發(fā)產(chǎn)品及提供技術(shù)支持。卓立漢光真誠(chéng)地希望與國(guó)內(nèi)外同仁攜手合作,為推動(dòng)我國(guó)光電產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展做出貢獻(xiàn)。

           

           

           

          光譜儀,拉曼光譜,熒光光譜,太陽(yáng)能電池檢測(cè),位移臺(tái),滑臺(tái),光學(xué)調(diào)整架,電動(dòng)滑臺(tái),光學(xué)平臺(tái),光學(xué)元件

          晶圓缺陷檢測(cè):寬場(chǎng)熒光顯微成像模組

          Wide-field Fluorescence Microscope Module

          • 晶圓缺陷檢測(cè):寬場(chǎng)熒光顯微成像模組以自動(dòng)化顯微鏡模組為基礎(chǔ),針對(duì) SiC 等化合物半導(dǎo)體晶圓位錯(cuò)、層錯(cuò)等缺陷檢測(cè)需求。

          • 無(wú)須化學(xué)腐蝕、解理等樣品前處理工藝,非接觸、無(wú)損、整晶圓檢測(cè)。

          晶圓缺陷檢測(cè):寬場(chǎng)熒光顯微成像模組

          產(chǎn)品特性和核心技術(shù):

          激光自動(dòng)聚焦。

          • 自主研制的激光輔助離焦量傳感器。

          • 可在紫外激發(fā)光照射樣品并采集熒光信號(hào)的同時(shí)工作,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)聚焦和表面跟蹤。

          紫外暗場(chǎng)照明。

          • 標(biāo)配波長(zhǎng) 275 nm 紫外激發(fā)光,可按用戶(hù)要求定制其它波長(zhǎng)激發(fā)光。

          • 可同位采集明場(chǎng)顯微像、可見(jiàn)光波段暗場(chǎng)熒光像、紅外波段暗場(chǎng)熒光像,分析樣品中位錯(cuò)、層錯(cuò)等。

          • 晶格缺陷的分布。

          全自動(dòng)操作。

          • 自動(dòng)化的控制軟件和數(shù)據(jù)處理軟件,全軟件操作。

          相關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn):

          • 《中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) GB_T 43493.3-2023 半導(dǎo)體器件 功率器件用碳化硅同質(zhì)外延片缺陷的無(wú)損檢測(cè)識(shí)別判據(jù) 第 3 部分:缺陷的光致發(fā)光檢測(cè)方法》(2023 年 12 月 28 日發(fā)布,2024 年7月1日實(shí)施)

          性能參數(shù):

          晶圓缺陷檢測(cè):寬場(chǎng)熒光顯微成像模組

          應(yīng)用案例:

          6 英寸 SiC 外延片缺陷檢測(cè)

          堆疊層錯(cuò)(SF)

          晶圓缺陷檢測(cè):寬場(chǎng)熒光顯微成像模組

          基面位錯(cuò)(BPD)

          晶圓缺陷檢測(cè):寬場(chǎng)熒光顯微成像模組




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