數(shù)字式中量程氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)DC-M100C/M主要應(yīng)用在量程范圍從30SLM--100SLM之間氣體流量的測(cè)量和控制，產(chǎn)品最*耐壓能達(dá)10Mpa，采用新型傳感制作工藝，具有響應(yīng)速度快、準(zhǔn)確度高、流量控制穩(wěn)定、耐壓高、線(xiàn)性度好等優(yōu)點(diǎn)，適用于絕大多數(shù)干燥、干凈的氣體（及少數(shù)腐蝕性氣體）。

性能特點(diǎn)：

       1、響應(yīng)速度快     2、耐壓3Mpa或10MPa

  3、抗干擾性強(qiáng)     4、寬壓力范圍

      5、流量控制精準(zhǔn)   6、數(shù)據(jù)傳輸距離遠(yuǎn)

技術(shù)參數(shù)：

氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)出廠(chǎng)通常用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。

質(zhì)量流量單位：SCCM（標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘）   SLM（標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘）

標(biāo)準(zhǔn)狀況：溫度--293.15K(20℃)   壓力--101325Pa（760mmHg）

F.S（Full Scale）表示滿(mǎn)量程

應(yīng)用行業(yè)：

       真空鍍膜設(shè)備、半導(dǎo)體工藝設(shè)備、化學(xué)與化工實(shí)驗(yàn)設(shè)備、食品科學(xué)與工程設(shè)備、能源與環(huán)境保護(hù)設(shè)備、各種分析儀器設(shè)備、表面處理、真空冶金及材料工藝、高校及科研院所實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。