1. 產(chǎn)品概述

Polaris系列 12英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)，磁控濺射源和腔室結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)有效提高靶材利用率。

2. 設(shè)備用途/原理

Polaris系列 12英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)，磁控濺射源和腔室結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)有效提高靶材利用率，靈活的腔室配置，針對(duì)先進(jìn)封裝域優(yōu)化、穩(wěn)定的傳輸系統(tǒng)，兼容玻璃片、翹曲片、鍵合片等多種類型基片傳輸，穩(wěn)定并且低的Rc表現(xiàn)，良好的顆粒和應(yīng)力控制能力，優(yōu)化的工藝流程帶來(lái)大產(chǎn)能表現(xiàn)，低運(yùn)營(yíng)成本。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸 12英寸，適用材料 銅、鈦、氮化鈦、鉭、氮化鉭、鎢化鈦、金、鋁等，適用工藝 電、先進(jìn)封裝中的UBM/RDL，適用域 新興應(yīng)用、先進(jìn)封裝。