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DST3-T 英國(guó)VacCoat濺射鍍膜機(jī)三靶渦輪分子泵陰極
| 參考價(jià) | ￥ 218000 |
| 訂貨量 | ≥100臺(tái) |
- 公司名稱 深圳秋山工業(yè)設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) DST3-T
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2024/10/10 9:04:30
- 訪問(wèn)次數(shù) 304
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 10萬(wàn)-30萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合 |
英國(guó)VacCoat濺射鍍膜機(jī)三靶渦輪分子泵陰極 DST3-T 特點(diǎn)介紹
DST3-T 是一種三靶渦輪分子泵多真空鍍膜系統(tǒng)，將熱蒸發(fā)器和濺射鍍膜機(jī)結(jié)合在一個(gè)緊湊的桌面系統(tǒng)中。
高真空系統(tǒng)適用于多種材料的沉積。三重磁控靶臺(tái)式濺射鍍膜機(jī)可以輕松地在蒸發(fā)和濺射條件之間切換（不同時(shí)）。
DST3-T配備了一個(gè)大室（直徑300毫米）和三個(gè)2英寸直徑的水冷陰極，使其適合長(zhǎng)時(shí)間濺射沉積。磁控臺(tái)式濺射鍍膜機(jī)配備射頻和直流電源。它可以濺射半導(dǎo)體、電介質(zhì)和金屬（氧化和貴金屬）靶材。
配備射頻電源的 DST3-T 濺射鍍膜系統(tǒng)配備自動(dòng)調(diào)節(jié)匹配箱，可最大限度地降低射頻濺射過(guò)程中的反射功率。DST3-T 型號(hào)包含可選功能，可增加鍍膜對(duì)基材的附著力并改善薄膜結(jié)構(gòu)，例如安裝 500 ?C 加熱器以在沉積過(guò)程中加熱基材，或向基材施加 300 V DC 偏置電壓。
英國(guó)VacCoat濺射鍍膜機(jī)三靶渦輪分子泵陰極 DST3-T 規(guī)格參數(shù)
內(nèi)置渦輪泵，真空度高
雙級(jí)旋片前級(jí)泵（隔膜和渦旋泵）
適用于金屬、半導(dǎo)體和電介質(zhì)的直流和射頻（可選）電源
三個(gè) 2” 水冷成角度磁控管陰極，適用于生產(chǎn)合金薄膜 (DST3-TA) 和多層沉積
用于 DST3-TS 的大型樣品架臺(tái)（8 英寸）
專(zhuān)為大型基板均勻沉積而設(shè)計(jì)的陰極掩模 (DST3-TS)
兩個(gè)固定和可移動(dòng)石英晶體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，用于實(shí)時(shí)厚度測(cè)量（1 nm 精度）
通過(guò)兩個(gè)精密質(zhì)量流量計(jì) ( MFC )進(jìn)行氣體注入控制，以精細(xì)控制真空壓力和氬氣流量或反應(yīng)濺射氣體
全量程真空計(jì)
陰極選擇電機(jī)
樣品旋轉(zhuǎn)、高度和傾斜可調(diào)（適用于 3 英寸樣品架）
三個(gè)手動(dòng)或電子（可選）百葉窗
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