Thermo Scientific™ EscaLab QXi X射線光電子能譜儀是ESCALAB 系列產(chǎn)品。作為可擴(kuò)展的多技術(shù)表面分析平臺，ESCALAB QXi有著靈活性和完備的專業(yè)配置選項。匯聚前沿技術(shù)，打造出高效便捷的軟件系統(tǒng)，高性能的硬件配置，高效的生產(chǎn)力。強(qiáng)大的Thermo ScientificTM AvantageTM 軟件系統(tǒng)集系統(tǒng)控制、設(shè)備狀態(tài)實時監(jiān)控與調(diào)節(jié)、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)處理、報告生成等多功能于一身，操作便捷，快速高效。

EscaLab QXi X射線光電子能譜儀分析性能：

● 表面元素定性、定量分析

能量分析器設(shè)計和雙晶微聚焦單色化X射線源結(jié)合，實現(xiàn)了能量分辨率

● 快速高分辨平行成像

化學(xué)成像: 空間分辨率優(yōu)于1um

回溯成譜: 回溯區(qū)域優(yōu)于6um

● 無需背底修正探測器

電子倍增器和電阻陽極探測器的雙探測器設(shè)計，可實現(xiàn)高性能的XPS采譜和高空間分辨的XPS成像的需求。

空間連續(xù)的電阻陽極探測器創(chuàng)新技術(shù)，使得XPI成像分辨率達(dá)1um，同時所得數(shù)據(jù)無探測器背底特征，無需背底校正，直接得到微米尺度分辨的定量元素分布成像結(jié)果。

● 微聚焦單色源

分析尺寸在20μm～900μm之間連續(xù)可調(diào)

靈敏度和能量分辨率

提供不少于20個靶材工作點，確保儀器終身使用過程中陽極靶無需更換

● 自動化高效離子剖析源

新型Ar離子團(tuán)簇與傳統(tǒng)單粒子離子源相結(jié)合，用于各類材料的深度剖析研究

● 高精確度角分辨XPS

軟件控制分析位置和角度，確保數(shù)據(jù)的精確性和重復(fù)性

全套的ARXPS數(shù)據(jù)處理工具，可對納米尺度的多層結(jié)構(gòu)器件進(jìn)行層厚計算

● 一鍵式荷電補償

配有雙束電荷中和系統(tǒng)，可以根據(jù)實際樣品的需要獨立控制開啟。

適用于所有不導(dǎo)電樣品及粗糙表面的荷電中和

● 強(qiáng)大的Avantage分析軟件

全數(shù)字化儀器控制

系統(tǒng)軟件可視化操作

全套XPS標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)圖庫以及化合物結(jié)構(gòu)鑒定數(shù)據(jù)庫

自定義數(shù)據(jù)采集到報告生成模式

操作簡便：

● 高度自動化

分析區(qū)域和角度分辨可選

自動化氣體調(diào)節(jié)和真空控制

● 隨時校準(zhǔn)

能量標(biāo)尺和儀器功函數(shù)的校準(zhǔn)

離子槍定位和離子束聚焦

● 鼠標(biāo)點擊式樣品導(dǎo)航

實時顯示分析位置

高照明強(qiáng)度、強(qiáng)度可調(diào)

設(shè)計靈活：

● ISS、ARXPS與REELS為標(biāo)準(zhǔn)配置

● 多功能進(jìn)樣室為標(biāo)準(zhǔn)配置

● UPS和EDS/AES/SEM/SAM/可選

● 可選的樣品預(yù)處理附件，包括：

樣品制備臺、晶體清潔器、樣品刮片器

樣品加熱/冷卻裝置

濺射清潔離子槍

蒸發(fā)器

高壓反應(yīng)室