產(chǎn)品名稱

VTC-600-3HD 三靶磁控濺射儀

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-600-3HD

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水）

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度 99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶 ?6mm 雙卡套

接頭）及減壓閥

4、工作臺(tái)： 尺寸 1500mm×600mm×700mm ，承重 200kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1 、配置三個(gè)靶槍，一個(gè)配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜，兩個(gè)配套直流電源用于導(dǎo) 電性材料的濺射鍍膜（靶槍可以根據(jù)客戶需要任何調(diào)換）。

2、可制備多種薄膜，應(yīng)用廣泛。

3、體積小，操作簡(jiǎn)便。

4、整機(jī)模塊化設(shè)計(jì)，真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設(shè)計(jì)，可根據(jù)用戶實(shí)際需要調(diào)整。

5、可根據(jù)用戶實(shí)際需要選擇電源，可以一個(gè)電源控制多個(gè)靶槍，也可多個(gè)電源單一控制靶槍。

技術(shù)參數(shù)

1、電源電壓： 220V    50Hz

2、總功率：＜2.5KW

3、極限真空度： < E-6mbar  （配合本公司設(shè)備使用可達(dá)到E-5mbar）

4、工作溫度： RT-500℃，精度±1℃（可根據(jù)實(shí)際需要提升溫度）

5、靶槍數(shù)量： 3 個(gè)

6、靶槍冷卻方式：水冷

7 、靶材尺寸： ?2″ ，厚度 0.1mm-5mm  （因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同）

8、直流濺射功率： 500W （可選）

9、射頻濺射功率： 300W/500W （可選）

10、載樣臺(tái)： ?140mm

11、載樣臺(tái)轉(zhuǎn)速： 1rpm-20rpm 內(nèi)可調(diào)

12、保護(hù)氣體： Ar 、N2 等惰性氣體

13、進(jìn)氣氣路： 質(zhì)量流量計(jì)控制 2 路進(jìn)氣， 1 個(gè)流量為 100 SCCM ，1 個(gè)流量為 200 SCCM

產(chǎn)品規(guī)格

主機(jī)尺寸： 500mm ×560mm×660mm ，整機(jī)尺寸： 1300mm ×660mm×1200mm；重量： 160kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

直流電源控制系統(tǒng)

2 套

2

射頻電源控制系統(tǒng)

1 套

3

膜厚監(jiān)測(cè)儀系統(tǒng)

1 套

4

分子泵（德國(guó)進(jìn)口）

1 臺(tái)

5

冷水機(jī)

1 臺(tái)

6

冷卻水管（?6mm）

4 根

可選配件

金、銦、銀、鉑等各種靶材