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          化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>其它實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>鍍膜機(jī)> GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀

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          GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀

          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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          北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司—實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)解決方案集成者:
          鴻瑞正達(dá)主要服務(wù)于高等院校、科研院所和研發(fā)企業(yè),專注于科研領(lǐng)域,助力科研成果轉(zhuǎn)化。公司提供材料研究成套設(shè)備及整套解決方案,包括:高壓科學(xué)材料、金屬材料、電池研發(fā)、地質(zhì)地礦材料、脆性材料、薄膜材料等研究領(lǐng)域的科研成套設(shè)備。

          我們的服務(wù)理念是:讓科研更高效、便捷。

           

           

           

           

           

           

           

           

          實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,材料科學(xué),質(zhì)譜儀,電化學(xué),電池,催化


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          產(chǎn)品簡介: GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀是依據(jù)二極(DC)直流濺射原理(直流二極濺射鍍膜 是指在真空環(huán)境中利用粒子轟擊靶材產(chǎn)生的濺射效應(yīng), 使得靶材原子或分子從固體表面射出, 在基片上沉 積形成薄膜的過程。屬于物理 氣相沉積(PVD)制備薄膜技術(shù)的一種。 )設(shè)計(jì)而成的簡單、可靠、經(jīng)濟(jì)的 鍍膜設(shè)備。GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀特別之處是在一個(gè)真空室內(nèi)安裝了三個(gè)靶,旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái) 可依次在同一樣品上涂覆三種材料。因此, 適用于實(shí)驗(yàn)室各種復(fù)合膜樣品的制備,以及非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電 極的制作。該設(shè)備體積小,節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間,操作簡單,尤其適合實(shí)驗(yàn)室使用。


          產(chǎn)品名稱

          GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀

          產(chǎn)品型號(hào)

          GSL-1100X-SPC-16-3

          安裝條件

          本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25±15℃, 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。


          1、水:不需要


          2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地


          3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度 99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥)


          4、工作臺(tái): 尺寸 600mm×600mm×700mm ,承重 50kg 以上


          5、通風(fēng)裝置:不需要

          主要特點(diǎn)

          1、設(shè)有真空表、濺射電流表,可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。


          2、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥,控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電 離氣體,以獲得好的鍍膜效果。


          3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì),可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。





          4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。


          5、根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性,采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻 純凈。


          6 、已通過 CE 認(rèn)證。

          技術(shù)參數(shù)

          1、靶直徑: ?45mm


          2、真空室: ?160mm×120mm


          3、真空度:≤4×10-2mbar


          4、靶位: 3 個(gè)


          5 、max 電流: 50mA


          6、可設(shè)定極間: 900s


          7、微型真空氣閥: 連接 ?3mm 軟管


          8、極限電壓: 1600V    DC


          9、機(jī)械泵: 2L/s

          標(biāo)準(zhǔn)配件

          1

          金靶材

          1 個(gè)

          2

          銅靶材

          1 個(gè)

          3

          鋁靶材

          1 個(gè)

          4

          進(jìn)氣針閥

          1 個(gè)

          5

          保險(xiǎn)絲

          2 個(gè)

          可選配件

          金、銦、銀、鉑等各種靶材




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